Gebraucht VEECO Spector #9115806 zu verkaufen

VEECO/DEKTAK Spector ist eine Sputterausrüstung zum Ablegen von dünnen Filmen. Es wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Mikroelektronik, Datenspeichermedien, Medizintechnik, Optik, Elektronik und Dünnschichtforschung eingesetzt. VEECO Spector ist ein PVD (Physical Vapor Deposition) System. Es arbeitet in einer Vakuumkammer und ist mit zwei Sputterquellen ausgestattet. Es kombiniert die Eigenschaften von zwei Arten von Maschinen, eine vertikale Sputtereinheit und eine planare Sputtermaschine. Sowohl planare als auch vertikale Quellen können zur Ablagerung verschiedener Materialien verwendet werden. DEKTAK Spector verwendet auch einen modularen Multi-Target-Aufbau, der die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien und einer Vielzahl von Zielen für die Abscheidung ermöglicht. Spector bietet eine breite Palette von Konfigurationen und kann um mehrere Zielhalter und Musterhalter erweitert werden. Es kann mehrere dünne Filme in jeder Sequenz und mit mehreren Materialzielen in einem Lauf ablegen. Das Werkzeug hat einen großen (43,3 Zoll) Arbeitsbereich und kann bis zu 11 "Wafer oder Substrate ablegen. Die Temperatur der Kammer wird auf 25 bis 40 ° C gehalten. Es ist mit einem Acht-Kanal-Quelle Kühlmittel für eine bessere Kontrolle des Prozesses ausgestattet. Mit VEECO/DEKTAK Spector können Anwender eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Legierungen, Verbundwerkstoffe, Oxide, Dielektrika und Metalle mit einer Oxidüberlagerung ablegen. Die Kapazität des Modells ist hoch und bietet ausgezeichnete Abscheidungsraten und Gleichmäßigkeit. Es eignet sich auch für die Hochgeschwindigkeitsproduktion für Dünnschichtanwendungen. VEECO Spector wurde unter Berücksichtigung der Prozesskontrolle entwickelt und automatisiert komplexe Abscheidungsaufgaben, um die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Dünnschichtabscheidung auch bei hohen Betriebsgeschwindigkeiten zu gewährleisten. Die geräteübergreifende Benutzeroberflächensoftware ermöglicht es dem Ingenieur oder Techniker, alle Parameter zu steuern, Prozessdaten anzuzeigen und Berichte zu erstellen. Seine Datenbank-Kopierer-Funktion hilft, Setup-Informationen über lange Laufzeiten und Aufträge hinweg intakt zu halten, mit einfachem Zugriff auf mehrere Substrat- und Zielinformationen. DEKTAK Spector ist eine effiziente Möglichkeit, hochwertige dünne Folien mit Präzision und Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Es ist in der Lage, große Wafer und Substrate zu handhaben, so dass es perfekt für große Dünnschichtproduktionen. Mit seinem breiten Leistungsspektrum und der systemweiten Automatisierung ist Spector das ideale Werkzeug, um eine präzise Dünnschichtabscheidung in einer Vielzahl von Branchen zu erreichen.