Gebraucht VEECO Spector #9394865 zu verkaufen
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VEECO/DEKTAK Spector ist eine Sputterausrüstung, die von VEECO, einem renommierten Unternehmen, das sich auf Präzisionsmesstechnik spezialisiert hat, entwickelt wurde. Dieses System wird bei der Herstellung verschiedener mikroelektronischer Chipgeräte eingesetzt und mit einer Vielzahl von Sputterwerkzeugen geliefert, die auf die betrieblichen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten sind. VEECO Spector-Einheit kommt mit einem robusten Metallsockel, um präzise und wiederholbare Leistung zu gewährleisten. Es wird für einen Betriebsbereich von 10 Millitorr bis höher als eine Atmosphäre bewertet und arbeitet bei 100 Watt und bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten. Diese Maschine bietet höchste Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit. Das Werkzeug ist ausschließlich für die Dünnschichtabscheidung ausgelegt und weist eine primäre Vakuumkammer mit einem oder zwei unabhängigen Sputterköpfen auf. Es verfügt über eine breite Plattform mit separaten Kammern für Probenbewegung, Pre-Sputtern, Post-Sputtern und Post-Prozess. Dieses Asset beinhaltet auch die Option zur Temperaturregelung beim Pre-Sputtern. Das Modell bietet eine anwendungsorientierte Sputteroperation sowie eine genaue Zielplatzierung. Das Sputter-Target wird in den Halter eingelegt und kann mit minimalem Aufwand leicht von einer Position in eine andere bewegt werden. Diese Plattform ist für wiederholbare Sputterleistung mit enger Abscheidungssteuerung konzipiert und kann für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden, darunter das Stapeln mehrerer Schichten zur Erstellung einer Mehrschichtfolie oder für nicht standardmäßige Substrate, wie großflächige Werkzeuge oder Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. DEKTAK Spector wurde unter Berücksichtigung der Produktivität entwickelt. Es hat eine modularisierte Konstruktion, so dass Komponenten leicht ausgetauscht oder zu den Geräten hinzugefügt werden können. Dieses System beinhaltet auch eine schnell pumpende Primärvakuumkammer zur schnellen und effizienten Entlastung der Kammer. Zusätzlich hat der Sputterkopf ein einzigartiges drehbares und kippbares Design, um die Gleichmäßigkeit des Ziels beim Ablegen von niederohmigen Filmen zu gewährleisten. Schließlich ist Spector vollautomatisiert. Es beinhaltet integrierte parametrische Programmierung, automatische Anpassungsfunktionen und Warnmeldungsfunktionen, um den Benutzer auf mögliche Probleme während des Prozesses aufmerksam zu machen. Diese benutzerfreundliche Einheit hat die Chipherstellungsindustrie revolutioniert und wird von Unternehmen auf der ganzen Welt weit verbreitet.
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