Gebraucht VON ARDENNE SCALA LabX #293826384 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293826384
Weinlese: 2019
Cluster system
Range of the SCALA system:
Technology: sputter system
Application range: ITO (indium tin oxide), SiNx or SiOx (silicon nitride and silicon oxide)
Research & piloting: fraunhofer ISE for research, development, pilot production, and wafers
Special feature: "wrap-around-free" coating
Chambers: transfer module, load lock chamber, buffer chamber, process chamber
Transport system: M2, M6, M10, M2
Tray capacity: 9 wafers (3×3)
Max. heater temperature 400°C
Heater power (C2/C41): 19 kW / 22 kW
Length / Width / Height: 7,600 mm / 2,800 mm / 2,850 mm
Electrical cabinets: 4,600 mm
Mass: approx. 10,000 kg
Connected load: 78 kVA
Process power consumption: 28 kW
Heat load: approx. 15 kW
Tray dimensions / weight: 1,000 × 980 mm / 8.5 kg
Tray speed: 0.05 – 5 m/min
Cooling capacity: Max. 70 kW
Cooling water flow rate: Max. 16 m³/h
Compressed air supply: 6 – 7 bar, approx. 15 m³/h
Process gas supply: O2, Ar, Ar/H2, N2
2019 vintage.
VON ARDENNE SCALA LabX ist ein modernes Sputtergerät, das an der Spitze der physikalischen Aufdampftechnologie steht. Das SCALA LabX-System wurde von VON ARDENNE, einem führenden Anbieter innovativer Vakuumbeschichtungsanlagen, entworfen und hergestellt und bietet beispiellose Präzision und Vielseitigkeit für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Diese vielseitige Plattform kombiniert modernste Technologie mit benutzerfreundlichen Funktionen und ist somit eine ideale Wahl für Forschungslabore, Universitäten und industrielle F & E-Einrichtungen. Im Zentrum der VON ARDENNE SCALA LabX-Einheit stehen seine leistungsstarken Sputterfähigkeiten, die das Abscheiden von dünnen Folien mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit, Reinheit und Kontrolle über die Schichtdicke ermöglichen. Die Maschine ist mit mehreren Sputterquellen ausgestattet, einschließlich Magnetron-Sputterkathoden, die die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien wie Metalle, Oxide und Nitride ermöglichen. Diese Flexibilität ermöglicht es Forschern, die Eigenschaften der abgeschiedenen Folien auf spezifische Anforderungen für ihre Anwendungen abzustimmen. SCALA LabX-Tool verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologie, die reproduzierbare Ergebnisse und eine präzise Schichtdickenkontrolle gewährleistet. Die Anlage ist mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Abscheideprozessparameter einfach zu programmieren, den Prozess in Echtzeit zu überwachen und die hinterlegten Filme zu analysieren. Darüber hinaus kann das Modell mit In-situ-Überwachungswerkzeugen wie Quarzkristall-Mikrowaagen und optischen Sensoren ausgestattet werden, um Rückmeldungen zum Abscheidungsprozess zu liefern und eine genaue Kontrolle der Filmeigenschaften zu gewährleisten. Eine der Hauptstärken der VON ARDENNE SCALA LabX Ausrüstung ist ihre Skalierbarkeit und Modularität, so dass Benutzer das System an ihre spezifischen Forschungsbedürfnisse anpassen können. Die Einheit kann einfach mit zusätzlichen Prozessmodulen wie Substratheiz- und Kühlstufen, Ionenstrahlquellen und Plasmareinigungseinheiten integriert werden, um ihre Fähigkeiten zu erweitern und die Qualität der abgeschiedenen Folien zu verbessern. Diese modulare Konstruktion ermöglicht es Anwendern, die Maschine bei der Entwicklung ihrer Forschungsanforderungen zu aktualisieren, was sie zu einer kostengünstigen Investition für langfristige Forschungsprojekte macht. SCALA LabX-Tool ist mit einem Fokus auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit robuster Konstruktion und fortschrittlicher Vakuumpumpentechnologie, um stabile und kontaminationsfreie Abscheidungsprozesse zu gewährleisten. Die Anlage ist mit fortschrittlichen Sicherheitsverriegelungen und Überwachungssystemen ausgestattet, um sowohl die Betreiber als auch die Ausrüstung während des Betriebs zu schützen. Darüber hinaus ist das Modell für eine einfache Wartung mit zugänglichen Komponenten und intuitiven Diagnosetools konzipiert, die Ausfallzeiten minimieren und eine konsistente Leistung gewährleisten. Abschließend stellt VON ARDENNE SCALA LabX Sputteranlagen eine hochmoderne Lösung für Dünnschichtabscheidungsanwendungen dar, die eine unübertroffene Leistung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten bietet. Mit seinen fortschrittlichen Sputterfähigkeiten, der präzisen Prozesssteuerung und dem modularen Aufbau ermöglicht das SCALA LabX-System Forschern herausragende Ergebnisse in einer Vielzahl von Forschungsbereichen, von der Materialwissenschaft bis zur Elektronik und darüber hinaus.
Es liegen noch keine Bewertungen vor