Gebraucht ALPSITEC MECAPOL E550 #9240664 zu verkaufen

ID: 9240664
Wafergröße: 6"
CMP System, 6" Rack: Wafer diameter: < 200 mm Rotation speed: 15-150 RPM Rear pressure: 0-100 kPa Polishing force: 0-3000 N (14 psi on 8") Horizontal displacement: Adjustable amplitude Main load tray: Diameter: 550 mm Rotation speed: 15-150 RPM Temperature: 10°C - 60°C Secondary tray: Diameter: 350 mm Rotation speed: 20-200 RPM Conditioner: Force: 10-300 N Diameter: 100mm, 238 mm Rotation speed: 10-70 RPM Final conditioner: Linear brush: 22 mm x 100 mm Facilities: Pressurized air: 6-7 bars Head motor: 0.75 kW Engine tray: 2.2 kW Conditioner engine: 0.37 kW Consumption: Water-DI: 200 L/hr Pressurized air: 220 L/min Electricity: 5 kW Air gap: Internal pump Power: 220-380 V, 50-60 Hz, 3 Phase.
ALPSITEC MECAPOL E550 ist eine fortschrittliche Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um hochwertige, ertragreiche Wafer mit hervorragender Oberflächengüte zu produzieren. Das System verfügt über ein patentiertes „selbstjustierendes“ vertikales Schleifprinzip und ist für die Bearbeitung großer Wafer bis 250 mm mit einem Rauhigkeitsmittel von 0,5 μ m (RA) und bis zu 10 μ m Oberflächenebene ausgelegt. MECAPOL E550 bietet eine Reihe hocheffizienter Silizium-Schleif- und Läpptechnologien mit drei unabhängigen Schleifspindeln, die hochpräzise und wiederholbare Schleifergebnisse ermöglichen. ALPSITEC MECAPOL E550 ist mit einer Überwachungseinheit ausgestattet, um einen effizienten und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine ist für die chargen- oder vollautomatische Verarbeitung ausgelegt und kann automatisiert Wafer be- und entladen. Das Werkzeug ist auch mit zweidimensionalen Autofokus-Kameras ausgestattet, die eine genaue Messung und Einstellung der Schleifparameter ermöglichen. Darüber hinaus ist das E550 mit allen gängigen Hochgeschwindigkeitssystemen kompatibel und ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse. MECAPOL E550 kann auch mit einem digitalen LCD-Touchscreen zur einfachen Einrichtung und Einstellung von Maschinenparametern und Rezeptbeladung ausgestattet werden. Das Asset verfügt außerdem über einen eingebauten Teilezähler und Drosselsensoren zur Überwachung der Schleifzeit und der Ausgabe jeder Charge. Ein hochpräzises Schwingungsisolationsmodell ist ausgestattet, um die Möglichkeit von Fehlern durch übermäßige Schwingungen und Störungen zu minimieren. ALPSITEC MECAPOL E550 bietet hochwertige, ertragreiche Wafer mit hervorragender Oberflächengüte. Mit fortschrittlichen Schleif-, Läpp- und Poliertechnologien kann das Gerät große Wafer bis 250 mm mit 0,5 μ m RA und bis zu 10 μ m Oberflächenebene verarbeiten. Das System ist außerdem mit ausfallsicheren Überwachungssystemen und benutzerfreundlichen LCD-Touchscreen-Bedienelementen ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Einrichtung ermöglichen. Mit seiner effizienten Produktionsrate und zuverlässigen, wiederholbaren Ergebnissen ist MECAPOL E550 eine ideale Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren großer Wafer.
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