Gebraucht ALPSITEC MECAPOL E550 #9240664 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9240664
Wafergröße: 6"
CMP System, 6"
Rack:
Wafer diameter: < 200 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Rear pressure: 0-100 kPa
Polishing force: 0-3000 N (14 psi on 8")
Horizontal displacement: Adjustable amplitude
Main load tray:
Diameter: 550 mm
Rotation speed: 15-150 RPM
Temperature: 10°C - 60°C
Secondary tray:
Diameter: 350 mm
Rotation speed: 20-200 RPM
Conditioner:
Force: 10-300 N
Diameter: 100mm, 238 mm
Rotation speed: 10-70 RPM
Final conditioner:
Linear brush: 22 mm x 100 mm
Facilities:
Pressurized air: 6-7 bars
Head motor: 0.75 kW
Engine tray: 2.2 kW
Conditioner engine: 0.37 kW
Consumption:
Water-DI: 200 L/hr
Pressurized air: 220 L/min
Electricity: 5 kW
Air gap: Internal pump
Power: 220-380 V, 50-60 Hz, 3 Phase.
ALPSITEC MECAPOL E550 ist eine fortschrittliche Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um hochwertige, ertragreiche Wafer mit hervorragender Oberflächengüte zu produzieren. Das System verfügt über ein patentiertes „selbstjustierendes“ vertikales Schleifprinzip und ist für die Bearbeitung großer Wafer bis 250 mm mit einem Rauhigkeitsmittel von 0,5 μ m (RA) und bis zu 10 μ m Oberflächenebene ausgelegt. MECAPOL E550 bietet eine Reihe hocheffizienter Silizium-Schleif- und Läpptechnologien mit drei unabhängigen Schleifspindeln, die hochpräzise und wiederholbare Schleifergebnisse ermöglichen. ALPSITEC MECAPOL E550 ist mit einer Überwachungseinheit ausgestattet, um einen effizienten und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine ist für die chargen- oder vollautomatische Verarbeitung ausgelegt und kann automatisiert Wafer be- und entladen. Das Werkzeug ist auch mit zweidimensionalen Autofokus-Kameras ausgestattet, die eine genaue Messung und Einstellung der Schleifparameter ermöglichen. Darüber hinaus ist das E550 mit allen gängigen Hochgeschwindigkeitssystemen kompatibel und ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse. MECAPOL E550 kann auch mit einem digitalen LCD-Touchscreen zur einfachen Einrichtung und Einstellung von Maschinenparametern und Rezeptbeladung ausgestattet werden. Das Asset verfügt außerdem über einen eingebauten Teilezähler und Drosselsensoren zur Überwachung der Schleifzeit und der Ausgabe jeder Charge. Ein hochpräzises Schwingungsisolationsmodell ist ausgestattet, um die Möglichkeit von Fehlern durch übermäßige Schwingungen und Störungen zu minimieren. ALPSITEC MECAPOL E550 bietet hochwertige, ertragreiche Wafer mit hervorragender Oberflächengüte. Mit fortschrittlichen Schleif-, Läpp- und Poliertechnologien kann das Gerät große Wafer bis 250 mm mit 0,5 μ m RA und bis zu 10 μ m Oberflächenebene verarbeiten. Das System ist außerdem mit ausfallsicheren Überwachungssystemen und benutzerfreundlichen LCD-Touchscreen-Bedienelementen ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Einrichtung ermöglichen. Mit seiner effizienten Produktionsrate und zuverlässigen, wiederholbaren Ergebnissen ist MECAPOL E550 eine ideale Lösung zum Schleifen, Läppen und Polieren großer Wafer.
Es liegen noch keine Bewertungen vor