Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS CMP Head for Mirra Mesa #293655977 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS CMP Head für Mirra Mesa ist die ideale Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung für Halbleiterbauelemente und Bauteilherstellung. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Si, Ge, III-V und Leiterplattenmaterial. Es bietet eine umfassende Lösung aus einer Hand für traditionelle und fortschrittliche CMP-Prozesse. Der Kopf besteht aus acht verschiedenen Schleifköpfen mit unabhängigen Prozessparametern und acht Prozessmodulen, die dem Anwender eine außergewöhnliche Flexibilität beim Waferschleifen, Läppen und Polieren bieten. Die hochpräzisen mehrachsigen Spindeln der Plattform bieten eine Drehzahl von bis zu 500 U/min, die je nach Bedarf geregelt werden kann, um einen konsistenten und wiederholbaren Poliereffekt zu gewährleisten. Sein drehmomentstarkes, langes Arbeitszyklus-Spindel-Design bietet eine stabile Grundlage für mikrostrukturierte Schleif- und Polierprozesse, wodurch der Benutzer planare und unebene Oberflächen herstellen kann. Der Kopf ist außerdem mit einem Spindelkühlsystem ausgestattet, das den Spindelverschleiß reduziert und längere Prozesslaufzeiten ermöglicht. AMAT CMP Head verfügt über eine einzelne Wafer-Rührwerk-zu-Schleif (ITG) -Technik und regionale Schleiffähigkeit, die einen höheren Waferdurchsatz und eine verbesserte Oberflächenqualität ermöglicht. Es bietet auch eine abnehmbare Ein- und Zwei-Port-Prozessoption und eine automatische Breitenanpassungsoption. Die Dual-Port-Option ermöglicht das Schichten verschiedener Materialien auf demselben Substrat und eignet sich somit für die mehrschichtige Geräteherstellung. AMAT CMP Head für Mirra Mesa ist mit einer spezialisierten SPS- und HMI-Schnittstelle ausgestattet, die eine grafische Benutzeroberfläche und manuelle Steuerung sowie Optionen zur Codierung von Funktionalität und Echtzeit-Prozessüberwachung bietet. Es ermöglicht Benutzern, Zeit zu sparen sowohl in der Werkzeugeinrichtung und tatsächlichen Prozess, da es in der Lage ist, bis zu 50 rezirkulierte Rezepte zu speichern, wodurch die Notwendigkeit, parametrische Einstellungen zwischen Zyklen neu zu laden. APPLIED MATERIALS CMP Head für Mirra Mesa bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Es bietet einen Power Inversion Interlock Sicherheitsschalter, Lichtvorhänge und Sicherheitsmatten, um die Sicherheit der Bediener zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet das Gerät eine Reihe von Überwachungsfunktionen, wie Vision-Kamera, Auto-Film-Erkennung und sterben-eye, um die Qualitätskontrolle jedes polierten Wafers zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Reihe von Optionen und Upgrades, darunter eine adaptive Power Control (APC) -Funktion und eine automatische Wafer-Identifikation für eine einfache Wafer-Verfolgung. Das Werkzeug kann auch mit anderen APPLIED MATERIALS Modulen wie Hazimark oder anderen gelieferten oder Drittsystemen für einen nahtlosen vollautomatischen Wafer-Herstellungsprozess integriert werden.