Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #293614950 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa
ID: 293614950
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Etcher, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa ist eine automatisierte, geschlossene Schleife, Roboterausrüstung, die in der Herstellung, Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern und anderen Halbleitermaterial verwendet wird. Es zeigt das letzte in in - situ Prozesssteuerungstechnologie, die Optimierung der Stief-Und-Mehrmaligprozessgeometrie berücksichtigend, den Höchststand der Präzision und Wiederholbarkeit sichernd. Das System wurde entwickelt, um Wafer mit verschiedenen Substrattypen, Formen und Größen zu verarbeiten. Das Gerät ist mit einer fortschrittlichen Robotersteuerung sowie mehreren Bewegungsachsen und einem Roboterarm für das Wafer-Handling ausgestattet. Mit dem Steuerwerkzeug können verschiedene Oberflächenvorbereitungsoperationen wie Läppen, Schleifen, Puffern und Polieren programmiert werden. Der Roboterarm positioniert den Wafer auf dem Läppblock und ermöglicht so die präzise und wiederholbare Positionierung jedes einzelnen Wafers. Die Anlage umfasst auch eine Solarzellen-Inspektionsstation, um zu überprüfen, ob jeder bearbeitete Wafer vor Wafereingriff frei von Defekten ist. Ein Substrattransport- und Belademodell ist ebenfalls vorgesehen, um die maximale Ausnutzung der Ausrüstung zu erleichtern. Die Robotersteuerung und das Substrattransportsystem können in andere automatisierte Systeme wie optische Inspektion, elektrische Widerstandsprüfung und Wärmebildsysteme integriert werden. Ebenfalls enthalten ist eine Wafer-Läpp-, Puffer- und Polierstation, in der Läppsteine, Schleifmittel und Arbeitsprodukte über den mehrachsigen Roboterarm der Einheit be- und entladen werden können. Diese Station ist in der Lage, eine Vielzahl von polierten Oberflächen zu produzieren, und kann an die Bedürfnisse bestimmter Prozesse angepasst werden. Die Maschine kann an eine Umweltkammer angeschlossen werden, die die Bearbeitung und Inspektion von Wafern in einer kontrollierten, kontaminationsfreien Atmosphäre ermöglicht. Die Kontaminationskontrollmechanismen des Werkzeugs umfassen die Verwendung der Umgebungskammer, die Überwachung und Kontrolle der Temperatur und Feuchtigkeit sowie die Partikelzählung. Darüber hinaus kann das Vakuummodell der Anlage die Kammer evakuieren und eine kontaminationsarme Umgebung gewährleisten. AMAT Mesa ist ein zuverlässiges und hochentwickeltes System zum Herstellen, Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern und anderen Halbleitermaterialien. Seine ausgeklügelte Robotersteuerung ermöglicht die wiederholbare, maßgeschneiderte Verarbeitung jedes einzelnen Wafers, während seine umfassenden Kontaminationskontrollmechanismen die Herstellung von nur Wafern höchster Qualität gewährleisten.
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