Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa #9295107 zu verkaufen
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ID: 9295107
Wafergröße: 8"
CMP Cleaner, 8"
Main power box, 12"
Lower electronic:
Mega
System
(2) Brushes
SRD
Mega LDM
Brush module:
Brush bath
Brush OP / Cis Cylinder
Sensor type
Motors
Brush LDM Direct type:
Valves
LDM Box and slide
SRD Module:
SRD Bath
Motor
Megasonic generator
Mega heater
Fan filter unit
Walking beam
Cover door pin and Interlock switch
Other sensors:
Wafer present sensor
Level sensor
Leak sensor
OP Sensor
CLS Sensor
Air fitting:
Lower electronic air tubing assy fitting
Check air fitting
Cables:
Walking beam lower electric cable
Brush lower electric cable
SRD Lower electric cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa Ausrüstung ist ein Wafer Schleif-, Läpp- und Poliersystem. Es bietet hohe Präzision, hohen Durchsatz Handhabung von Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Prozessoperationen und bietet das höchste Maß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das Gerät ist konfigurierbar, um mehrere Schleif-, Läpp-, Polier- und Nachätzreinigungsvorgänge in einem Durchgang durchzuführen. Es ist ideal für die Verarbeitung verschiedener Arten von Halbleiter- und Photovoltaikwafern in einer Vielzahl von Formaten. AMAT Mesa Maschine verwendet einen mehrstufigen magnetischen Gimbaling-Tisch auf einem präzisionstechnischen Aluminiumrahmen. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Tisch präzise kalibriert ist, was einen konsistenten und zuverlässigen Schleif-, Läpp- und Polierprozess ermöglicht. Das Werkzeug weist eine geringe Profilkonstruktion auf, die eine maximale Verwendung des Tisches zur Handhabung einer Vielzahl von Wafergrößen ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mesa Asset verfügt auch über einfach zu bedienende Controller, die eine präzise Einstellung der Schleif-, Läpp- und Polierparameter ermöglichen. Mesa-Modell verfügt auch über zahlreiche Sicherheitsmerkmale für eine erhöhte Bedienersicherheit. Diese Merkmale umfassen eine Standard-Videokamera für die Bedienerüberwachung, eine Signalsicht, so dass der Bediener den Prozess von einem externen Standort aus überwachen kann, und eine Signalwarnung, wenn ein unsicherer Zustand erkannt wird. Dieses Gerät hat auch die Fähigkeit, die Geschwindigkeit des Tisches zu begrenzen, sowie die Drehmomentübertragung zu begrenzen, wenn die Läpp- und Poliervorgänge im Gange sind. Dadurch wird sichergestellt, dass das Material sicher und sicher gehandhabt wird. AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa-System läuft auf spezialisierter Software, bekannt als Z-CT063, die voreingestellte Betriebsparameter ermöglicht und benutzerdefinierte Rezepte von Parametern ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Vorgang konsistent und genau durchgeführt wird. Weitere erweiterte Funktionen der AMAT Mesa-Einheit betreffen die Prozessüberwachung, einschließlich der umgekehrten Reinigungsfähigkeit, die dazu beiträgt, den Reinigungsaufwand im Rahmen des Prozesses zu reduzieren. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Mesa eine ideale Lösung für das Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Sein modernes Design, einfach zu bedienende Bedienelemente und zahlreiche Sicherheitsmerkmale machen es zu einer überlegenen Wahl für die Halbleiter- und Photovoltaik-Industrie.
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