Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9181998 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9181998
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Polisher, 8"
Cassette que: (4) Wets
Handling: Wet in / Wet out
(3) Platens
(4) Polish heads
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry configuration: A, AB, C
ISRM P1: Full scan
ISRM P2: Full scan
ISRM P4: Full scan
UPA: IT/RR/MEM/EC
UPA Supply: Nitrogen gas
Head types: Profiler (Titan II option) / Titan I/W+
Head ring material: PPS
Pad conditioner: DDF3
Min/Max platen speed: 0 - 125rpm
Min/Max head rotation: 0 - 125rpm
Head sweep range: 4.2 - 5.8
PC Sweep range: 1.7-9.0
Min/Max PC rotation: 0 - 125rpm
Min/Max slurry flow: 50 - 240ml/mn
Min/Max head pressure: 0.5-14psi
Min/Max PC downforce: 3.0-17lbf
Endpoint software: IS11e9
Polisher software: PS50g0
Hard drive configuration: NT4.0/68 pin SCSI
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die zur Oberflächenvorbereitung und -veredelung von Halbleitersubstraten verwendet wird. AMAT Mirra 3400 wurde entwickelt, um sowohl den manuellen als auch den automatisierten Betrieb sowie eine Vielzahl von Schleif-, Läpp- und Poliervorgängen auf einer einzigen Plattform zu gewährleisten. Das System kann mehrere Substratgrößen von 150mm bis 450mm verarbeiten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra 3400 bietet vier verschiedene Schleifoperationen, die es dem Benutzer ermöglichen, von Oberflächenschleifen zu Kantenschleifen mit minimaler Rüstzeit und einer Vielzahl von Polieroperationen zu wechseln, einschließlich einseitiges oder tauchhubendes Polieren für die gleichmäßigsten Oberflächen. Das Gerät ist in der Lage, nicht kreisförmige Substrate zu schleifen, um Spannungen zu beseitigen und eine präzisere Verarbeitung zu ermöglichen. Mirra 3400 ist auch in der Lage, automatisierte Vorbereitung und Polieren von Oberflächen. Die Maschine ist mit einem vollautomatisierten programmierbaren Vorschubwerkzeug und einem automatisierten linearen Polieren ausgestattet, wodurch der Benutzer den gesamten Prozess von Anfang bis Ende kontrollieren kann. Die fortschrittliche Software von AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 ermöglicht auch die Feinabstimmung von Parametern, wodurch eine mühsame manuelle Kalibrierung entfällt. AMAT Mirra 3400 hat einen modularen Aufbau, der einfache Upgrades und Flexibilität ermöglicht. Die Anlage kann schnell neu konfiguriert werden, um die Verwendung mehrerer Schleif-, Läpp- und Polierkomponenten zu ermöglichen, einschließlich Diamant- und Diamanthybridpads, Überschwemmungen und Spritzen sowie Tensidspender. Für weitere Informationen enthält APPLIED MATERIALS Mirra 3400 eine umfassende Datenbank mit Schleif- und Polierzyklen und Parametern. Schließlich ist Mirra 3400 sicherheitszertifiziert, mit ESD-Schutz und einem Sicherheitsgehäuse, das einen sicheren Betrieb ermöglicht. Das Modell bietet auch Umweltschutz, mit einer Staubreduziereinrichtung, enthaltene Flüssigkeitsfiltration und automatische Abschaltung der Schleif- und Polierprozesse bei unvorhergesehenen Umständen.
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