Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9277696 zu verkaufen
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ID: 9277696
Weinlese: 2000
CMP System
FABS Cassette system
Mirra polisher
Ontrack cleaner
Missing parts:
(3) Slip rings
Platen 3 lower skin
PC3 End effector
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um Herstellern eine hochdurchsatzreiche, effiziente und zuverlässige Lösung für Präzisionsscheibenschleifen, Läppen und Polieren zu bieten. Das Gerät unterstützt sowohl synchrone als auch asynchrone Mehrfachspindelkonfigurationen und verwendet eine Vielzahl von Schleif- und Polierkissen. AMAT Mirra 3400 verfügt über eine modulare Architektur, wobei jedes Modul für spezifische Anwendungen optimiert ist. Die Hauptmodule der Maschine umfassen eine Spindel, einen Riemen, eine Pumpe und ein Wafer-Spannfutter. Die Spindel verfügt über mehrere Direktantriebsmotoren mit hohem Drehmoment, die präzise Anpassungen und Steuerung der Schleif-, Läpp- und Polierprozesse ermöglichen. Das Riemenwerkzeug wurde entwickelt, um Vibrationen und Biegungen zu reduzieren, um gleichbleibende Ergebnisse zu gewährleisten, unabhängig vom Material. Die Pumpenanlage stellt dem Werkzeugkopf Kühlmittel und Schleifmittel zur Verfügung, während die Waferfutter-Baugruppe eine gleichmäßige Verteilung von Wärme und Druck auf den Wafer aufrechterhält. APPLIED MATERIALS Mirra 3400 zeichnet sich auch durch eine leistungsstarke Automatisierung durch eine integrierte PC-basierte Produktionssteuerung aus. Dieser integrierte PC ermöglicht die Steuerung der Hardware und Software des Modells, einschließlich Anpassungen der Prozessparameter, die Überwachung des Status des Geräts und die Erhebung von Produktionsdaten. Es integriert sich auch in eine Vielzahl von Systemen und Steuerungen von Drittanbietern und bietet weitere Anpassungsoptionen. Die hochpräzisen Servomotoren des Systems bieten eine hervorragende Partikelsteuerung und einen dynamischen Prozess, während die vollständig programmierbaren Prozessrezepte einen sofortigen Start und verbesserte Laufzeiten gewährleisten. Darüber hinaus verfügt Mirra 3400 über ein kompaktes, ergonomisches Design und eine robuste Konstruktion, um eine einfache Wartung und Zuverlässigkeit für einen langfristigen, wiederholten Einsatz zu gewährleisten. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 eine hochgradig anpassbare und effiziente Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliereinheit, die den höchsten Standards der modernen Geräteherstellung entspricht. Es bietet Anwendern fortschrittliche Automatisierung, programmierbare Rezepte und eine äußerst zuverlässige Plattform, um kontinuierliche Leistung zu gewährleisten und jedes Mal überlegene Ergebnisse zu erzielen.
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