Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra 3400 #9411057 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9411057
Weinlese: 2001
CMP System
Wet robot
Wet queue tank: Q-Tank with lift
System skins: Clear skins
Load cup: Full contact HCLU
Performance enhancement:
Pad conditioner head 1-3 with screw type DDF3
Factory interface:
Platen 1 ISRM: Legacy
Platen 2 ISRM: Legacy
Platen 3 ISRM: Legacy
SECS GEM Interface
Polisher:
No polishing head 1-4
Upper Pneumatics Assembly (UPA): Profiler
No UPA relocation
Pad wafer loss sensor: Dual sensor
No platen temperature control and cable
No upper platen coating
Grease platen gear assembly
Slurry delivery: Peristaltic pump
Standard slurry flow rate
Slurry dispense arm:
4-Line slurry arm
High pressure rinse
DI Water
Slurry tube
Facilities operations:
EMO guard ring
No EMO IO
System user and labels: English
No LOTO Box
Smoke detector
Polisher slurry leak sensor
Electrical requirements:
Line frequency: 50 HZ
Line voltage: 200/208 VAC
Power lamp: Green lamp
No power connected lamp
Circuit breaker: 200 A
Controller top panel: Holes punched out for AC Power cables entry
No configurable IO
GFI Type: 30 mA
No isolation transformer
Umbilical's:
CAT Track style: Cascading
Polisher to controller cable
Controller to monitor cable: 50 feet
Factory hookup:
Upper exhaust
Upper exhaust material: Stainless steel
Lower exhaust
Process exhaust: Vent interlock sensor
No flange upper exhaust connection
Drain manifold: 1 Line
Operator interface:
No Hard Disk Drive (HDD)
Memory: 128M
PIII CPU
Operating system: Windows NT
Polisher light tower:
Pole mounted type
Polisher tower: (3) Colors
Lamp type: Incandescent
Colors sequence: RYG
Controller light tower:
Pole mounted type
(3) Colors
Lamp type: Incandescent
Color sequence: RYG
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra 3400 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die speziell für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System verwendet eine mehrstufige Poliereinheit, die einen rotierenden horizontalen Waferhalter und Diamantschleifscheiben umfasst. Die Maschine ist in der Lage, qualitativ hochwertige Oberflächenveredelungen mit glatten Oberflächen und niedrigen Mikrorauhheitswerten zu erzeugen. Die Hauptkomponenten von AMAT Mirra 3400 sind das Mainframe, die Transfereinheit und das integrierte Prozesssteuerungstool. Der Großrechner ist mit einem 10-PS-Motor mit einstellbaren Drehzahlen von bis zu 2000 U/min ausgestattet. Die Übertragungseinheit umfasst zwei Servomotoren, die eine automatische Materialhandhabung des Wafers und seiner zugehörigen Substrate ermöglichen. Dies gewährleistet Genauigkeit und Präzision beim Läppen oder Polieren des Wafers. Die integrierte Prozesssteuerung ist in der Lage, den Schleif-, Läpp- und Polierprozess zu steuern sowie Parameter und Rezepte für jeden Wafertyp zu speichern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra 3400 kann eine Vielzahl von Wafergrößen und -dicken von 1 Zoll bis 8 Zoll aufnehmen. Das Modell hat auch eingebaute Sicherheitsfunktionen, um die Integrität der Wafer zu schützen. Der Wafer wird je nach Oberflächenbeschaffenheit des Wafers stufenweise von grob bis fein geschliffen. Sobald das Schleifen abgeschlossen ist, wird der Wafer dann mit einer Polierlösung poliert und mit einer feinen Läpp- oder Poliermasse versehen. Das Gerät ist in der Lage, sehr enge Toleranzen und Oberflächenrauhigkeitswerte im Bereich von 1-2 µm zu erreichen, wodurch es für die Herstellung von hochwertigen Wafern geeignet ist. Das System verwendet auch automatisierte Vakuumtechnologie, um Kontaminationen zu reduzieren, was zu höheren Erträgen führt. Insgesamt ist Mirra 3400 eine robuste und zuverlässige Einheit, die Datenerfassung und Nachbearbeitung bietet, um die Qualität des fertigen Produkts zu gewährleisten. Die Maschine ist in der Lage, sehr glatte Ergebnisse mit engen Toleranzen zu erzielen, was sie zur idealen Wahl für die Halbleiterindustrie macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor