Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS #9263082 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra DNS
Verkauft
ID: 9263082
Wafergröße: 8"
CMP System, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Das System wurde entwickelt, um den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, indem es mehr Flexibilität und Fähigkeiten bietet, um das wachsende Anwendungsspektrum zu unterstützen. Das Gerät ist in der Lage, kurze Zykluszeiten, hohen Durchsatz und Präzision für das automatisierte Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern bis 8 "im Durchmesser. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungen für eine präzise Wafer-Steuerung und einen reibungslosen Betrieb ausgelegt. AMAT Mirra DNS bietet leistungsstarke Schleif-, Läpp- und Polierfunktionen. Das Werkzeug ist mit 2 Teilöffnungen zum Schleifen und Läppen und einem einzigen Schleif- und Poliermodul ausgestattet. Die Unteröffnungen ermöglichen eine höhere Prozesssteuerung, was eine verbesserte Wafer-Planarisierung und Kantenqualität ermöglicht. Das Poliermodul ähnelt einem Single-Point-of-Service-Verfahren und ermöglicht die Einstellung der Polierbedingungen während des gesamten Prozesses, einschließlich Oberflächenrauhigkeit und Gleichmäßigkeit. Das Asset ist mit robusten Prozessfähigkeiten und enger Prozesskontrolle ausgelegt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra DNS verfügt über einen vollautomatischen Be- und Entladeaufzug, der bis zu 8 "Wafer mit einer Dicke von bis zu 100 Mikrometern aufnehmen kann. Das Modell bietet eine Hochgeschwindigkeits-Servo-Schleif- und Poliervorschubeinrichtung mit automatischer Oberflächensteuerung und Luftlagern, um einen reibungslosen und präzisen Materialabtrag zu gewährleisten. Das System wurde mit erweiterten Automatisierungsfunktionen entwickelt. Es ermöglicht die schnelle und genaue Einrichtung mehrerer Prozessprogramme. Mirra DNS ermöglicht die Fernüberwachung und Steuerung von Schleif-, Läpp- und Polierprozessen über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI). Die GUI bietet auch Echtzeit-Wafer-Parameter für Anwender, um optimale Prozesszyklen und optimale Waferqualität zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra DNS ist mit einer robusten, hochdurchsatzreichen Plattform für höchste Waferqualität und Produktivität konzipiert. Das Gerät verwendet Direktantriebsmotoren und programmierbare Bewegungen, um eine detaillierte Wafer-Steuerung zu gewährleisten und den Waferdurchsatz zu gewährleisten. Die automatisierte Maschine ermöglicht es dem Anwender, hohe Präzision und Gleichmäßigkeit kostengünstig zu erreichen. AMAT Mirra DNS ist ein wesentlicher Prozess für Halbleiterunternehmen, die ihre Kosten senken und die Effizienz verbessern wollen.
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