Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 zu verkaufen
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ID: 9265796
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
System, 6"
Box 1:
Type: Through-the-wall
(4) SMIFs
CPU Board type: 400 MHz or Higher
Box 2: Mirra Track
Box 3: Oxide
Box 4: Dry in / Dry out
Box 5:
Signal lamp tower
No Bolt-on SMIF
No integrated SMIF
Box 6:
Cassette tank: Standard
Robot type: 112" Stand alone
Cleaner type: ONTRAK
Spray gun: Single
No In-situ removal rate monitor
No IPM
Box 7:
Polish heads: Titan 1
Rings: AFP
Wafer loss sensor: Dual sensor
Box 8:
Teflon coated platens
Pad type: IC 1000
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner disc: TBW
Universal disk holder
Temperature control: None
Box 9:
Slurry / Platen used
Flow rate: Standard
Dispense arm: Standard
No slurry flow monitors
Box 10:
Nova type: Wet out
No interface monitor
No notch finder
Box 11:
Membrane type: FPDM
4-Port UPA upper
Box 12:
Polish heads: 6" Titan
Grooved retaining rings
Dark pad wafer loss sensor
Box 13:
Pad type: IC 1000
Pad conditioner disc: ABT
Universal disc holder
Box 14:
MESA Cleaner type
On-board mixing
Chemical A: Ammonia Hydroxide
Pressurized delivery type
Precision spray bar
CLC Brush box with on-board mixing
Scrubber 1 and 2:
Brush type: Rippey microclean
Delivery type: Direct feed
Manuals and cables included
Power supply: 208 V, 3 Phase
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für die hocheffiziente Bearbeitung spröder Materialien mit einer breiten Palette von abrasiven Medien konzipiert ist. Dieses System wird für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, einschließlich der Herstellung von Halbleiter- und MEMS-Bauelementen. Die Einheit besteht aus einer Basiseinheit, die die Schleifscheiben und Läppscheiben aufnimmt, und einer Steuereinheit, die es dem Benutzer ermöglicht, die Schleifausrüstung zu steuern und die Parameter auf die gewünschten Ergebnisse einzustellen. AMAT Mirra Integra verfügt über eine robuste Konstruktion mit Aluminiumchassis, Edelstahlarbeitsplatten und keramischen Komponenten. Die Schleifmaschinen von APPLIED MATERIALS Mirra Integra zeichnen sich durch hohe Präzision und Genauigkeit aus. Die Schleifscheiben sind so ausgelegt, dass sie über die gesamte Materialoberfläche konstante Ergebnisse liefern. Die Schleifmedien sind optimiert, um Plattenabrieb zu reduzieren und Schäden an den Werkstücken zu minimieren. Darüber hinaus ist das Schleifmedium auch in der Lage, oberflächendifferente Substrate aufzunehmen. Die Läppplatten von Mirra Integra bieten eine gleichmäßige Schleiffläche, die die Spannung gleichmäßig über die Arbeitsfläche verteilt. Dies hilft, die Beanspruchung des Werkstücks zu verringern, was zu einer geringeren Oberflächenrauhigkeit und einer verbesserten Lebensdauer des Teils führt. Die Läppplatten sind mit zwei verstellbaren Klemmen ausgestattet, die eine Anpassung an die spezifischen Anwendungsanforderungen ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integras Polierverfahren verwendet eine Kombination aus chemischen und mechanischen Methoden, um ein qualitativ hochwertiges poliertes Ergebnis zu erzielen. Die verwendeten Poliermedien sind so konzipiert, dass sie einen kontrollierten und konsistenten Veredelungsprozess ermöglichen, was zu hochpräzisen Ergebnissen führt. Die automatisierte Prozesssteuerungsmaschine von AMAT Mirra Integra ermöglicht es dem Anwender, die Schleifausrüstungsparameter so einzustellen, dass optimale Ergebnisse erzielt werden. Die Steuerung gibt auch Rückmeldung über die Werkstückoberflächenrauhigkeit und kann bei Überschreiten vorgegebener Schwellen einen Alarm auslösen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Mirra Integra ein außergewöhnlich fortschrittliches und zuverlässiges Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, mit dem in einem Bruchteil der Zeit hohe Präzisionsergebnisse erzielt werden können.
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