Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Integra #9265796 zu verkaufen

ID: 9265796
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
System, 6" Box 1: Type: Through-the-wall (4) SMIFs CPU Board type: 400 MHz or Higher Box 2: Mirra Track Box 3: Oxide Box 4: Dry in / Dry out Box 5: Signal lamp tower No Bolt-on SMIF No integrated SMIF Box 6: Cassette tank: Standard Robot type: 112" Stand alone Cleaner type: ONTRAK Spray gun: Single No In-situ removal rate monitor No IPM Box 7: Polish heads: Titan 1 Rings: AFP Wafer loss sensor: Dual sensor Box 8: Teflon coated platens Pad type: IC 1000 Pad conditioner head: DDF3 Pad conditioner disc: TBW Universal disk holder Temperature control: None Box 9: Slurry / Platen used Flow rate: Standard Dispense arm: Standard No slurry flow monitors Box 10: Nova type: Wet out No interface monitor No notch finder Box 11: Membrane type: FPDM 4-Port UPA upper Box 12: Polish heads: 6" Titan Grooved retaining rings Dark pad wafer loss sensor Box 13: Pad type: IC 1000 Pad conditioner disc: ABT Universal disc holder Box 14: MESA Cleaner type On-board mixing Chemical A: Ammonia Hydroxide Pressurized delivery type Precision spray bar CLC Brush box with on-board mixing Scrubber 1 and 2: Brush type: Rippey microclean Delivery type: Direct feed Manuals and cables included Power supply: 208 V, 3 Phase 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integra ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für die hocheffiziente Bearbeitung spröder Materialien mit einer breiten Palette von abrasiven Medien konzipiert ist. Dieses System wird für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, einschließlich der Herstellung von Halbleiter- und MEMS-Bauelementen. Die Einheit besteht aus einer Basiseinheit, die die Schleifscheiben und Läppscheiben aufnimmt, und einer Steuereinheit, die es dem Benutzer ermöglicht, die Schleifausrüstung zu steuern und die Parameter auf die gewünschten Ergebnisse einzustellen. AMAT Mirra Integra verfügt über eine robuste Konstruktion mit Aluminiumchassis, Edelstahlarbeitsplatten und keramischen Komponenten. Die Schleifmaschinen von APPLIED MATERIALS Mirra Integra zeichnen sich durch hohe Präzision und Genauigkeit aus. Die Schleifscheiben sind so ausgelegt, dass sie über die gesamte Materialoberfläche konstante Ergebnisse liefern. Die Schleifmedien sind optimiert, um Plattenabrieb zu reduzieren und Schäden an den Werkstücken zu minimieren. Darüber hinaus ist das Schleifmedium auch in der Lage, oberflächendifferente Substrate aufzunehmen. Die Läppplatten von Mirra Integra bieten eine gleichmäßige Schleiffläche, die die Spannung gleichmäßig über die Arbeitsfläche verteilt. Dies hilft, die Beanspruchung des Werkstücks zu verringern, was zu einer geringeren Oberflächenrauhigkeit und einer verbesserten Lebensdauer des Teils führt. Die Läppplatten sind mit zwei verstellbaren Klemmen ausgestattet, die eine Anpassung an die spezifischen Anwendungsanforderungen ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Integras Polierverfahren verwendet eine Kombination aus chemischen und mechanischen Methoden, um ein qualitativ hochwertiges poliertes Ergebnis zu erzielen. Die verwendeten Poliermedien sind so konzipiert, dass sie einen kontrollierten und konsistenten Veredelungsprozess ermöglichen, was zu hochpräzisen Ergebnissen führt. Die automatisierte Prozesssteuerungsmaschine von AMAT Mirra Integra ermöglicht es dem Anwender, die Schleifausrüstungsparameter so einzustellen, dass optimale Ergebnisse erzielt werden. Die Steuerung gibt auch Rückmeldung über die Werkstückoberflächenrauhigkeit und kann bei Überschreiten vorgegebener Schwellen einen Alarm auslösen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Mirra Integra ein außergewöhnlich fortschrittliches und zuverlässiges Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, mit dem in einem Bruchteil der Zeit hohe Präzisionsergebnisse erzielt werden können.
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