Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293627305 zu verkaufen
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ID: 293627305
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
CMP System, 12"
Copper processing system
(4) Two line peristaltic pumps
(2) Slurry arm left arms
No polishing heads
Wet robot:
Wafer handler
Eject vacuum
Missing parts:
Controller boards
(4) UPA Zone
UPA Rotary union
HCLU
Upper and lower platens
Mega brush
Mega generator and chemical vessels
Brush:
Pressurised vessels
(4) Vessels
Qty / Part number / Description
(1) / - / Megasonic RF Generator
(4) / - / Cleaner mega, brush1 and 2 chemical vessels
(4) / 0010-03697ER / Head sweep motors
(1) / 0010-37905 / i-Scan Endpoint
(2) / 0010-77428 / Assy, teflon coated upper platens
(2) / 0020-77924 / Bearing retainers
(4) / 0020-79068 / AMAT Brackets
(4) / 0021-77866 / Clamp drive spindles
(4) / 0021-77867 / Plate adapter motor spindle flex clamp kits
(1) / 0021-78095 / Manifold-II series valve, UPA Assy
(1) / 0021-78097 / Manifold-I valve, UPA Manifold assy
(1) / 0040-77085 / Lower platen
(4) / 0040-77461 / Spindle assys
(4) / 0090-06473 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-07553 / Assy, wafer loss sensors
(4) / 0090-77262 / UC Pressure tranducerassys
(4) / 0090-77263 / IC Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77297 / PP Pressure transducers -14.7 to 10
(4) / 0090-77298 / RR Pressure transducers -14.7 to 15
(4) / 0100-77043 / Dual slip out sensor boards
(4) / 0140-77491 / Cables, ER-44
(4) / 0140-77492 / Cables, ER-46
(4) / 0140-78202 / Cables, head pneumatic ER-45, UC
(4) / 0140-78203 / Cables, head pneumatic JD-SV43, SV45
(4) / 0140-78204 / Cables, head pneumaticjd SV43, SV43, SV45
(4) / 0140-78205 / Cables, head IC/IT JB-SV-46,47, SV43, SV45
(4) / 0140-78258 / Cables, head pneumatic EC/PP JA-SV-42, SV44
(4) / 0140-78261 / Cables, head pneumatic ER-42, EC/PP
(1) / 0140-03497 / Cables, platen 2 encoder
(4) / 0190-77116 / Flexible disks
(2) / 0240-77490 / Platen motors
(4) / 0760-01037 / CPLG Union rotary 4-port
(3) / 3870-02365 / Valve modules 8-PNEU
(1) / 3870-02366 / Valve module 8-PNEU
(1) / 0010-77157 / Load cup
(4) / 0190-14344R / Head rotation motors
(4) / 0190-14344 / NSK Driver, mega torque, with motor
(2) / 0190-14502 / MEI Motion control boards
(6) / 0190-14372 / DRVR Servopacks AC SGD, Power supply: 200 V, 100 W
(1) / 0190-19549 / Card P-M 1.6GHZ 512MB RAM VME Bus single
(1) / 0190-42525 / Network port server, EL160 (16) Channels, with PWRSP Power supply: 100-250 V AC, 50/60 Hz
(1) / 0100-01793 / PCB Assy, i/o interface board with COM
(3) / 0140-04819 / Cable bulkhead platenisrms
(1) / 0140-75170 / AMAT Head ROT 3 and 4 MP3-DVR 4 and 5
(1) / 0650-01088 / Transmitter
(2) / 0870-01013 / VEXTA Head Sweep drivers, 5-Phase
(4) / 1080-01166 / VEXTA Robot Z-W-S stepping motors, 2-Phase
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Equipment ist ein Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem, das entwickelt wurde, um hochwertige Waferoberflächen mit erhöhter Präzision, Wiederholbarkeit und Durchsatz zu liefern. Das Gerät wurde entwickelt, um die Oberflächenrauhigkeit und Ebenheit zu verbessern und gleichzeitig Fehler zu minimieren. Die MA/AT ist sowohl in manuellen als auch in vollautomatisierten Konfigurationen verfügbar und ermöglicht Flexibilität und Skalierbarkeit je nach Bedarf des Benutzers. AKT Mirra Mesa Machine verwendet eine Reihe von Druck- und Schleifwerkzeugen sowie chemische und physikalische Prozesse, um die gewünschte Wafer-Oberfläche zu erreichen. Das Werkzeug nutzt 4-Achsen-Bewegung, ermöglicht das gleichzeitige Schleifen und Läppen der gesamten Waferoberfläche, was Geschwindigkeit und Effizienz erhöht und Kosten minimiert. Die MA/AT verwendet auch Druckluft, um das abrasive Material konditioniert zu halten und unerwünschte Partikel zu eliminieren. AMAT Mirra Mesa Asset integriert Techniken der Partikelmesstechnik zur Verbesserung des Prozesses und sorgt für optimale Ergebnisse und Konsistenz. Diese Techniken messen die Parameter der Partikel einschließlich Größe, Form, Härte und Kontaktwinkel des Schleifmaterials. Durch die Messung dieser Messgrößen kann die MA/AT den Prozess entsprechend anpassen und die beste Finish und Wafer Qualität gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Mesa Modell basiert auf einer modularen Plattform, die an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden kann. Das Gerät kann auch für verschiedene Scheibengrößen und Dicken konfiguriert werden. Das System ist einfach zu installieren und ist für eine einfache Wartung ausgelegt, was eine erhöhte Betriebszeit und geringere Ausfallzeiten während des Betriebs ermöglicht. Mirra Mesa Unit bietet auch eine staubfreie Arbeitsumgebung, wodurch ein teurer Reinraum entfällt. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Machine ein äußerst zuverlässiges Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das eine erhöhte Geschwindigkeit, Automatisierung und Genauigkeit ermöglicht und hochwertige Wafer produziert. Mit seinen fortschrittlichen Techniken der Partikelmesstechnik, der modularen Plattform und der einfachen Wartung ist es eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen.
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