Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #293771203 zu verkaufen
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ID: 293771203
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2011
Chemical Mechanical Polish (CMP) system, 6"
Equipped with integrated NOVA Measurement system
Process: Oxide
Wafer shape: Flat
Factory interface:
Cleaner type: Mesa
Megasonics
WET Robot
Nova 2040 In-line metrology system
Interface: SECS / GEM
Controller CPU Type: 5201
25-Slot cassette
Platen and head options:
Polishing head: (4) Profiler heads, 6"
Consumable retaining ring
Pad wafer loss sensor: Dual sensors with light light pipe
Platen temperature control
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (3) Slurries
No slurry flow monitor
EMO Guard ring
No smoke detector
Circuit breaker: 200 A
Wide type GFI: 30 mA
Spray gun
PC
Mouse
Power supply: 200-230 V, 50/60 Hz
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist ideal für die Oberflächenverstärkung einzelner, sowie mehrerer kristalliner Halbleitersubstrate, einschließlich Silizium (Si), Siliziumcarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN). Es ist mit Dual-Kopf-Spindeln gebaut, die es in der Lage, sowohl einseitige als auch doppelseitige Anwendungen macht. Es verfügt über Tracking- und Autokorrekturfähigkeiten, was bedeutet, dass es den Ausgang der Spindeln anpassen kann, um ein konsistentes Finish über den gesamten Wafer zu gewährleisten. Das System ist mit einer hochmotorisierten Luftlagerspindel ausgelegt, so dass es konsistente und zuverlässige Läpp-, Schleif- und Polieraufgaben ohne Vibrationen aufrechterhalten kann. Darüber hinaus verfügt es über eine eingebaute Vision-Einheit, die es ermöglicht, eine sichere und konsistente Werkzeugposition aufrechtzuerhalten. AKT Mirra Mesa verfügt auch über eine einzigartige Leistungsumwandlungsmaschine, die das maximale Drehmoment aufrechterhält und gleichzeitig die Wärme im Motor reduziert. Dadurch werden Schäden an Teilen vermieden und die Produktivität erhöht. Das Werkzeug verfügt auch über eine Easy-Lift abrasive Gülle Versorgung Asset. Dieses Modell trägt dazu bei, den Zeitaufwand für den Wechsel einer Polierplatte zu reduzieren, sodass die Ausrüstung effizienter laufen kann. Darüber hinaus verfügt AMAT Mirra Mesa über eine Online-Überwachungs- und Steuerungsfunktion, die Druck/Tiefe, Temperatur und Beleuchtung umfasst. Auf diese Weise können die Bediener sicherstellen, dass das System optimal funktioniert, was die Lebensdauer und Genauigkeit des Geräts erhöht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Mesa ist mit High-End-Funktionen konzipiert, die es ideal für hohe Ausbeute und hohe Serien machen. Es eignet sich für eine Reihe von Anwendungen wie Rückenschleifen, Läppen, Schneiden, Würfeln und Polieren. Es ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie einer Hochsicherheitsabdeckung, einer Bedienerverriegelungsmaschine und einer automatischen Abschaltung konzipiert, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Mirra Mesa kommt auch mit einer Reihe von Zubehör einschließlich Schleifmittel, Kassetten und Diamantrollen, die es bequem für alle Arten von Anwendungen machen. Darüber hinaus ist es benutzerfreundlich, einfach zu installieren und zu bedienen, so dass es ideal für den Einsatz in einer Reihe von Produktionsumgebungen. Mit AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa bietet AKT Kunden eine zuverlässige und effiziente Lösung für die gewünschte Oberflächengüte.
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