Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9077553 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9077553
CMP system, 8"
Cross Assembly:
Absolute Encoder Harmonic Drive
(4) NSK Megatorque spindle assemblies with fuse blowing fix
(4) Vexta 5-phase head sweep motors
(4) Cu Titan polishing heads
(3) Platen system with Alpha low-noise gearboxes, Yaskawa motors w/ NEC compliant cables
(3) AMAT DDF3 pad conditioners
Cu Slurry delivery system
AMAT Copper Rinse / Slurry delivery arms
Leak proof polisher skins
Closed loop monitoring features
Fluid reduction package
Input voltage: 200-240 VAC 50/60 Hz
Integrated Mesa cleaner:
Wafer sense transfer station
Single wafer machined (leak proof) Megasonic tank
Vertical spin rinse dry station
Flow monitoring on all cleaner chemical and DI flows (On/off)
Edge grip automation
Side feed facilities and exhaust
Mesa power supplied by Mirra controller
Line of sight top cover between Mesa and Mirra
Digital ISRM monitor integrated into the polisher (all 3 platens) with:
Full face HW/SW capability and dual optical ISRM / iSCAN ISRM in platen 1
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung und Entwicklung von hochpräzisen Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Das System verfügt über eine Vielzahl von Werkzeugen zur präzisen Wafer-Oberflächenveredelung und ist mit einer integrierten Prozesssteuerung für die Echtzeit-Prozessüberwachung ausgestattet. Die Maschine bietet auch fortschrittliche Funktionen wie automatisiertes Be-/Entladen von Wafern, automatisierte Prozessablaufsteuerung und integrierte elektrische Tests. AKT Mirra Mesa Werkzeug ist in der Lage zu schleifen, Läppen und Polieren Wafer bis 200mm in der Größe. Es bietet auch eine Vielzahl von Prozessrezepten wie Elektrosynthese, Fehlerentfernung, Oberflächenplanarisierung, einseitiges und doppelseitiges Polieren und vieles mehr. Die Anlage ist in der Lage, Prozessparameter wie Druck, Geschwindigkeit und Temperatur zu steuern und zu überwachen, um präzise Ergebnisse zu gewährleisten. Es ist mit einem automatisierten Wafer-Handling-Modell mit eingebauten Sicherheitsfunktionen und einem automatisierten Dreh-Wafer-Tisch ausgestattet. Die Geräte von AMAT Mirra Mesa verfügen zudem über ein hochpräzises Sichtsystem mit fortschrittlicher Bildverarbeitung, bildunterstützter Mustererkennung und messtechnischen Werkzeugen zur präzisen Waferoberflächenbewertung. Dieses Gerät bietet eine vollständige Kontrolle über die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des gesamten Prozesses. Es ist auch in der Lage, die Fördergeschwindigkeit und den Druck des Spülvorgangs zu steuern. Die Maschine ist mit fortschrittlicher Software und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um die Sicherheit des Bedieners und des Werkzeugs während des Betriebs zu gewährleisten. Es verfügt auch über erweiterte Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen einschließlich der Echtzeit-Prozessdatensammlung. Die Anlage entspricht verschiedenen Sicherheitsstandards, wie CE, UL und CSA. Unterstützt wird das Modell auch durch das Engagement von AKT, Kunden herausragenden technischen Support und Service zu bieten. Zusammenfassend ist Mirra Mesa eine hochpräzise Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die den Leistungsanforderungen der Halbleiterindustrie entspricht. Es bietet eine Vielzahl von Werkzeugen zur präzisen Oberflächenveredelung sowie ein integriertes Prozessleitsystem und fortschrittliche Sichtsysteme. Es entspricht verschiedenen Sicherheitsstandards und bietet Kunden hervorragenden technischen Support und Service.
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