Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 zu verkaufen

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ID: 9104952
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
CMP system, 8" System: Dry in / Dry out Process: Cu Software Polisher MB60a1 Cleaner CB22p2 Endpoint IB11h7 CPU Pentium III 400MHz Dual RAID HardDisk Yes HardDisk Size 68GB RAM 128MB Hardware Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200 Cleaner Mesa Indexer Rorze FABS SMIF # FOUP Install: (3) Metrology None Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each Endpoint Laser P1 iScan Endpoint Laser P2 FullScan Endpoint Laser P3 None Polisher Middle Skins Opaque Pad Conditioner type Universal Platen Coating Teflon UPA Standard Chiller No Com Port Server Digi EL160 Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers Slurry in CLC Yes Slurry Arm 4line Polishing Head Titan I Rotary Union 4-port Cross type Cattrack UPA 3 Port Megasonics yes SRD Yes Brush 1 yes Brush 2 yes PM reduction kit blackout covers Splash guard Exhaust blower Magnehelic Pressure Low Level detection kit SRD Exhaust Interlock 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für eine optimale Leistung in einer Reihe von Waferanwendungen entwickelt wurde. Das System besteht aus einem hochpräzisen optischen Schleifer, der unebene Oberflächensteine präzise schleift. Es verfügt über eine zweiachsige Motorsteuerung, die präzise und wiederholbare Schleifbewegungen ermöglicht. Die Maschine ist auch mit einer ultravioletten Aushärtungsmaschine ausgestattet, die ein geschlossenes Ansprechwerkzeug bereitstellt. Es ist so konzipiert, dass Wafer schnell und präzise auf eine völlig ebene Oberfläche geschliffen und poliert werden. Eine einstellbare Stromversorgung ermöglicht maßgeschneiderte Ergebnisse, während ein vakuumgeschütztes elektronisches Gut verhindert, dass Fremdmaterial in den Hauptarbeitsbereich gelangt. AKT Mirra Mesa sorgt für hervorragende Oberflächengüte und Genauigkeit auf flachen und konturierten Wafern. Es verfügt über eine spezielle Spindelkonstruktion, die zu einer präzisen Oberflächengüte beiträgt. Das eingebaute Kühlmittelmodell reduziert die Gefahr einer thermischen Schädigung des Wafers weiter und liefert qualitativ hochwertige Ergebnisse. Darüber hinaus wurde die zweiachsige Motorsteuerung der Maschine entwickelt, um Vibrationen zu minimieren, was zu einer erhöhten Standzeit des Werkzeugs führt. Insgesamt bietet das AMAT Mirra Mesa Wafer Schleif-, Läpp- und Poliersystem Präzision und Leistung. Seine fortschrittliche Kühltechnologie sorgt für konsistente Produktgenauigkeit. Die eingebaute Vakuumschutzeinheit minimiert das Risiko einer Kontamination. Das zweiachsige Motorsteuerungswerkzeug der Maschine reduziert Vibrationen und Werkzeugverschleiß weiter. Dadurch werden sowohl flache als auch konturierte Wafer mit idealer Oberflächenbeschaffenheit präzise hergestellt.
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