Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9104952 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9104952
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
CMP system, 8"
System: Dry in / Dry out
Process: Cu
Software
Polisher MB60a1
Cleaner CB22p2
Endpoint IB11h7
CPU Pentium III 400MHz
Dual RAID HardDisk Yes
HardDisk Size 68GB
RAM 128MB
Hardware
Polisher /with Controller Mirra 3400 / 5200
Cleaner Mesa
Indexer Rorze FABS SMIF
# FOUP Install: (3)
Metrology None
Slurry(P1+P2+P3) ABCD Each
Endpoint Laser P1 iScan
Endpoint Laser P2 FullScan
Endpoint Laser P3 None
Polisher Middle Skins Opaque
Pad Conditioner type Universal
Platen Coating Teflon
UPA Standard
Chiller No
Com Port Server Digi EL160
Cleaner Brush LDM Direct Feed LDM with entegris flow sensors
Walking Beam PEEK Fingers with PP Grippers
Slurry in CLC Yes
Slurry Arm 4line
Polishing Head Titan I
Rotary Union 4-port
Cross type Cattrack
UPA 3 Port
Megasonics yes
SRD Yes
Brush 1 yes
Brush 2 yes
PM reduction kit
blackout covers
Splash guard
Exhaust blower
Magnehelic Pressure Low Level detection kit
SRD Exhaust Interlock
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für eine optimale Leistung in einer Reihe von Waferanwendungen entwickelt wurde. Das System besteht aus einem hochpräzisen optischen Schleifer, der unebene Oberflächensteine präzise schleift. Es verfügt über eine zweiachsige Motorsteuerung, die präzise und wiederholbare Schleifbewegungen ermöglicht. Die Maschine ist auch mit einer ultravioletten Aushärtungsmaschine ausgestattet, die ein geschlossenes Ansprechwerkzeug bereitstellt. Es ist so konzipiert, dass Wafer schnell und präzise auf eine völlig ebene Oberfläche geschliffen und poliert werden. Eine einstellbare Stromversorgung ermöglicht maßgeschneiderte Ergebnisse, während ein vakuumgeschütztes elektronisches Gut verhindert, dass Fremdmaterial in den Hauptarbeitsbereich gelangt. AKT Mirra Mesa sorgt für hervorragende Oberflächengüte und Genauigkeit auf flachen und konturierten Wafern. Es verfügt über eine spezielle Spindelkonstruktion, die zu einer präzisen Oberflächengüte beiträgt. Das eingebaute Kühlmittelmodell reduziert die Gefahr einer thermischen Schädigung des Wafers weiter und liefert qualitativ hochwertige Ergebnisse. Darüber hinaus wurde die zweiachsige Motorsteuerung der Maschine entwickelt, um Vibrationen zu minimieren, was zu einer erhöhten Standzeit des Werkzeugs führt. Insgesamt bietet das AMAT Mirra Mesa Wafer Schleif-, Läpp- und Poliersystem Präzision und Leistung. Seine fortschrittliche Kühltechnologie sorgt für konsistente Produktgenauigkeit. Die eingebaute Vakuumschutzeinheit minimiert das Risiko einer Kontamination. Das zweiachsige Motorsteuerungswerkzeug der Maschine reduziert Vibrationen und Werkzeugverschleiß weiter. Dadurch werden sowohl flache als auch konturierte Wafer mit idealer Oberflächenbeschaffenheit präzise hergestellt.
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