Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9117435 zu verkaufen

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ID: 9117435
CMP system.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die speziell für die anspruchsvollsten Halbleitertests entwickelt wurde. Dieses System ist ideal für die Verbesserung der Genauigkeit der Oberflächentopographie des Wafers und kann in einer Vielzahl von Fertigungs- und Testoperationen wie Würfeln, Kritzeln, Plattieren, Galvanisieren und Polieren verwendet werden. Diese Einheit verwendet eine einzigartige zweiachsige, rotierende Plattformmaschine, die das gleichzeitige Schleifen, Läppen und Polieren von Verbund- (SiC, SiN usw.) oder Glassubstraten ermöglicht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit mehrstufiger Bearbeitungsvorgänge, die zu Unstimmigkeiten führen können (und schlechte Waferausbeuten verursachen). Das Werkzeug umfasst drei unabhängig voneinander gesteuerte Spindeln zum Schleifen, Läppen und Polieren. Jede dieser Spindeln wird über eine programmierbare Softwareschnittstelle gesteuert, wodurch eine Reihe von Parametern und Einstellungen für die Genauigkeit der Bedienung angepasst werden können. Die Schleif-, Läpp- und Poliervorgänge werden alle unter der gleichen Vakuumkammer durchgeführt und gewährleisten höchste Qualitätsergebnisse. Zum Asset gehört auch ein optionaler automatischer Substratgrößenanpassungs-Dongle, mit dem die Geschwindigkeit der einzelnen Spindeln entsprechend der Größe des Wafers angepasst werden kann, um möglichst präzise und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Der Dongle kann auch zur Steuerung und Einstellung des Querschleifer-/Polierdrucks für bestimmte Wafer-Schleifprofile verwendet werden. Neben der automatisierten Verarbeitung umfasst das Modell auch einen integrierten Robotermanipulator, mit dem der Bediener Wafer manuell bearbeiten kann. Dies bietet eine größere Flexibilität und ermöglicht es dem Anwender, die Waferprozesse an die spezifischen Bedürfnisse (d.h. für unterschiedliche Ätztiefen oder Profile) anzupassen. Die Ausrüstung umfasst auch erweiterte Echtzeit-Datenerfassungs- und Überwachungsfunktionen, mit denen Bediener Prozessprobleme schnell und genau erkennen und beheben können. Darüber hinaus ist das System in der Lage, automatisierte Berichte mit detaillierten Fertigungsergebnissen zu erstellen, mit denen Produktionsprozesse im Laufe der Zeit überwacht und verbessert werden können. Insgesamt ist AKT Mirra Mesa eine Top-of-the-Line-Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliereinheit, die entwickelt wurde, um die Erträge zu verbessern und die Produktionskosten in Halbleiteranwendungen zu senken. Die fortschrittliche Automatisierung, Vielseitigkeit und Echtzeit-Datenerfassungsfunktionen dieses Geräts machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für anspruchsvolle Halbleiterherstellung und Testoperationen.
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