Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9232538 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9232538
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CMP System, 8"
Technology: CMP STI
Platform type: Mirra Mesa
Wafer shape: Flat
Application information:
Application: Oxide
System: Dry in / Dry out
Device type: D-RAM
Device geometry: 0.09 Microns
Process materials:
Polish slurry: STI
Platen 1, 2 & 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from Reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In situ removal rate monitor: Digital
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF Type
Installation type: Through the wall
Integrated system basic FABS: FABS 212
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Platen surface: Teflon coated
Slurry delivery options:
Slurry delivery: (2) Slurries by peristaltic pump
Slurry flow rate: STD Flow
Slurry flow monitor
Slurry containment bulkhead: Single containment
No slurry loop line
Slurry dispense arm: Extended rinse arm
No slurry leak detector
DI Water
High pressure rinse
Mirra type
Cleaner type: Mesa (Converted from Reflexion)
Fabs type: SMIF Type
Safety equipment:
Red turn to release EMO button: STD
EMO Guard ring
System labels: English
Smoke detector
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 30 Ft
Controller to monitor cable: 30 Ft
Factory hookup:
Standard upper exhaust
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold: 4 Line to Fac
Drain adapter: NPT Fitting
No castors for Mirra system
Weight distribution plate (Skid pad)
User interface:
Gray area: Monitor
Cleanroom: Monitor
Class cart for monitor
No class cart for (2) monitors
No class 100 cart for (2) monitors
Stainless cart
Mouse / Trackball: PC Mouse
No hard disk backup
Polisher / Fabs light tower:
Tower mounting type: (4) Lights
Polisher tower: (4) Colors
UPA Water fall
Inter platen clean type with splash guard
Polisher tower colors sequence: RYGB
Cleaner option: Mesa cleaner
Maintenance options:
Single spray gun
No lapping stone
Special options:
No nylon brush
E-Chain teflon sheet: Water fall
No low pressure release water
Spares parts:
Heads
Retaining ring
(2) Pad conditioner heads
Mesa:
Direct chem type:
Megasonic module
Brush 1
Brush 2
Standard:
SRD
Output station
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200~230V
Delta connection
Power lamp: Green
No power connected lamp
Circuit breaker: 200A
AC Outlet box: 100V
No configurable I/O
Wide type GFI: 50mA
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um Herstellern zu helfen, die stetig steigende Nachfrage nach leistungsfähigen, kostengünstigen Geräten zu decken. Die Maschine liefert präzise und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Oberflächenveredelungsanwendungen. Das Werkstück wird zusammen mit einem aufgesteckten Schleifrad, Diamantkissen oder Polierkissen auf die Fertigungsplattform geladen, die dann je nach Anwendung mit Geschwindigkeiten bis zu 12.000 U/min gesponnen werden. Anschließend werden die Spindeln über die Oberfläche des Werkstücks gezogen und gepresst, wobei allmählich Oberflächenmaterial weggeschliffen wird. Diese Technik ermöglicht es dem Anwender, die Menge des Materialabtrages zu kontrollieren und eine gleichmäßige Oberflächengüte während des gesamten Prozesses für eine verbesserte Produktkonsistenz zu gewährleisten. AKT Mirra Mesa ist mit einem digitalen Steuerungssystem konzipiert und umfasst eine Vielzahl von Mess- und Rückkopplungsmechanismen, um den Schleif- und Polierprozess nach Bedarf zu überwachen und anzupassen. Die Einheit umfasst auch eine integrierte optische Maschine, die sicherstellt, dass die Werkstücke nach vorgegebenen Parametern bearbeitet werden und nach jedem Schritt eine gleichbleibende Fertigungs- und Oberflächenintegrität bestätigt. Das Tool verfügt über ein integriertes Filterelement, das verhindert, dass Staub und Schutt in die internen Komponenten des Modells übergehen, wodurch optimale Leistung und Sauberkeit erhalten bleiben. Darüber hinaus arbeitet AMAT Mirra Mesa bei unterschiedlichsten Temperaturen und kann für alle Werkstückmaterialien angepasst werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Mesa ist eine ideale Lösung für Hersteller, die hochpräzise Verfahren für die Oberflächenveredelung suchen. Die integrierten digitalen Steuerungs- und Überwachungssysteme, die einstellbaren Druck- und Temperatureinstellungen sowie staubfreie Filtersysteme sorgen für konsistente und wiederholbare Ergebnisse, die für die Herstellung von Qualitätsprodukten unerlässlich sind.
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