Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9254128 zu verkaufen
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ID: 9254128
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
CMP System, 8"
Technology: CMP Oxide
Wafer shape: Flat / Notch
Consumed process materials:
Polish slurry
Platen 1 pad: IC1010
Platen 2 pad: IC1010
Platen 3 pad: IC1010
Pad conditioner: Diaphragm
Pad conditioner head: DDF3
Pad conditioner holder
Factory interface options:
Cleaner type: MESA (Converted from reflexion)
Megasonics
Robot type: AMAT / APPLIED MATERIALS
In-situ removal rate monitor: Full scan
SECS GEM Interface
Cassette tank
Cassette type: SMIF
Open cassette
Integrated system basic: FABS 212
FABS Robot blade: Ceramic
Cassette type: 25 Slots teflon PFA
Platen and head options:
Polishing head: (4) TITAN I Heads
(4) Retaining rings
Pad wafer loss sensor
Slurry delivery options:
Slurry delivery: Peristaltic pump
Slurry flow rate
Slurry flow monitor
Slurry loop line
Slurry loop line A
Slurry loop line B
Slurry dispense arm
DI Water
High pressure rinse
Safety equipment:
Red turn to release EMO button
EMO Guard ring
Smoke detector
Polisher slurry leak sensor
Mesa brush leak sensor
Umbilicals:
Polisher to controller cable: 50 Ft
Controller to monitor cable: 50 Ft
Factory hookup:
Upper exhaust
Upper exhaust material: SS
Exhaust vent interlock: Upper and lower
Upper exhaust connection: 8"
Drain manifold:(4) Lines to FAC
Drain adapter: NPT Fitting
DIW Inlet assy: W/O CDA Regulator
User interface:
Monitor selection: LCD Monitor
Monitor 1 location: LCD Monitor on cart
Class 1 cart for monitor 1
Mouse
Start stop button: Controller
Light tower selection: Controller and FABs
Polisher light tower:
Controller tower mounting type: Horizon flush mounted
Controller tower
Controller tower lamp type: Incandescent
Light tower:
Tower mounting type: Pole mounted
Tower lamp type: Incandescent
Tower colors sequence
Cleaner options:
Mesa cleaner
Walking beam assemble
Megasonic module: Delivery tank
Megasonic delivery type: Pressurized
Chemical A
Chemical B
Scrubber module:
Scrubber delivery type: Direct feed
Brush chemical
Scrubber 1 delivery type: Direct feed
Brush 2 chemical
Brush 1, 2 spray bar
SRD Module:
SRD Shield
SRD Exhaust and drain lines: Single
Upper electronic box: UEB
Signal tower
Pad conditioner head: DDF3
Pad con disk holder
Polishing head: TITAN 1 Head
Upper Pneumatic assy: UPA
Slurry delivery: (2) Slurry line for each platens (6 Slurry line)
Endpoint system full scan ISRM (P1, P2)
No slurry containment bulkhead
No slurry loop line C
No Uninterruptible Power Supply (UPS)
No delta connection
No power connected lamp
No AC outlet box
No isolation transformer for Mesa
No elbow fitting for drain pan
No castors
No weight distribution plate
No internal vacuum ventury
No SRD heater lamp
Power requirements:
Line voltage: 200~230 V
Line frequency: 50/60 Hz
Delta connection
Power lamp
Circuit breaker: 200 A
Configurable IO: 10 Channels
GFI Type: 30 mA
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa ist eine hochpräzise computergesteuerte Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist für den Einsatz in der Halbleiterindustrie zum präzisen Schleifen, Läppen und Polieren komplexer Wafer konzipiert. Das System nutzt präzise Bewegungssteuerung und erweiterte Funktionssätze, um außergewöhnlich präzise Geometrien zu erzielen, speziell für den Halbleitermarkt. Das Gerät verfügt über eine programmierbare Drehscheibe, die eine präzise polare und azimutale Steuerung der Drehbewegung ermöglicht. Diese Bewegung wird in Kombination mit Bürsten-, Schleif- und Poliertechniken verwendet, um präzise Oberflächengeometrien zu erzeugen. Die Bewegung wird über eine Reihe von Drehgebern gesteuert und überwacht und bietet präzise und wiederholbare Leistung. Die Maschine verfügt außerdem über ein ausgeklügeltes Heiz- und Kühlwerkzeug, das den optimalen Temperaturbereich für die durchzuführenden Prozesse sicherstellt und den Verschleiß der Teile reduziert. Die Anlage wurde entwickelt, um Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen mit sehr engen Toleranzen (> 0,02 μ m) durchzuführen. Alle Teile und Materialien bilden das Modell, einschließlich der Aluminium-Grundplatte, Lagerträger und Wellen, sind alle auf hohe Toleranzen und Spezifikationen ausgelegt und gebaut. Die Ausrüstung ist NSF genehmigt und entworfen, um alle anwendbaren HEPA Filter Standards zu erfüllen. Darüber hinaus bietet AKT Mirra Mesa eine erweiterte Softwaresteuerung, die einen präzisen und wiederholbaren Betrieb ermöglicht. Das System unterstützt sowohl Bord- als auch Off-Board-Computer zur Bedienung, Überwachung und Diagnose. Es enthält auch eine Reihe von Werkzeugoptionen, so dass eine breite Palette von Anwendungen. Insgesamt ist AMAT Mirra Mesa eine hochmoderne Einheit, die speziell in der Halbleiterindustrie präzise und wiederholbare Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen liefert. Sein erweitertes Feature-Set liefert erstklassige, qualitativ hochwertige Ergebnisse, die die Kundenerwartungen übertreffen.
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