Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #9275384 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Mirra Mesa Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung ist eine automatisierte Plattform entwickelt, um Halbleiterscheiben effektiv zu verarbeiten. Dieses System verfügt über einen Durchsatz von bis zu 200 Wafern/Stunde und ist in der Lage, mit einer einzigen Verpackungskonfiguration zu schleifen, zu läppen und zu polieren. Die fortschrittliche Steuereinheit ermöglicht die Prozessüberwachung und die statistische Prozesskontrolle (SPC) über mehrere Plattformen hinweg und nutzt fortschrittliche Robotersteuerungssoftware, um eine optimale Kontrolle und Genauigkeit über den Prozess zu gewährleisten. AKT Mirra Mesa ist mit einer Vielzahl von Komponenten ausgestattet, um eine genaue Waferbearbeitung zu gewährleisten. Dazu gehören ein Hochgeschwindigkeits-Wafer-Futter, ein robuster Roboterarm, ein Schleifkopf und ein mehrachsiges Bett. Das Bett verfügt über dreidimensionale Bewegung und ist entworfen, um eine stabile Substratposition während des gesamten Prozesses zu halten. Der Roboterarm hilft, den Prozess weiter zu optimieren, indem er Spannungsregelung, Geschwindigkeitseinstellung und Schwingungsdämpfung bereitstellt. Der Schleifkopf wurde entwickelt, um die Wafer-Topographie mit einem festen Radius zu optimieren und ist mit Hartmetallmessern ausgestattet, um die Genauigkeit zu gewährleisten und Schäden an der Waferoberfläche durch übermäßige Reibung zu verhindern. Darüber hinaus bietet AMAT Mirra Mesa Prozesssteuerungsfunktionen, die für diese Maschine einzigartig sind. Dies beinhaltet die Möglichkeit, bestimmte Läppzeiten, Geschwindigkeiten, Korngrößen und andere Parameter zu programmieren. Es ist auch mit einem Wafer-Rotationsmechanismus ausgestattet, um sicherzustellen, dass die beste Oberflächengüte mit maximaler Gleichmäßigkeit erreicht wird. Mit dem Steuerungstool können Sie auch Rezepte speichern, aus denen sich Verarbeitungsparameter für eine optimale Prozesswiederholbarkeit ableiten lassen. Die Anlage sorgt für eine hohe Qualität und zuverlässige Verarbeitung auf jedem Wafer. Dies beinhaltet eine hohe Maßhaltigkeit sowie Oberflächengüte. Es ist auch in der Lage, vor der Abscheidung von Metallen, Oxiden und anderen dünnen Schichten eine überlegene flächige Oberfläche herzustellen. Mirra Mesa ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie sowie für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen.