Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak #9275382 zu verkaufen

ID: 9275382
CMP Systems.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Ontrak ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die präzise Bearbeitung von Halbleiter- und optischen Bauelementen im kleinen bis großen Wafer-Maßstab verwendet wird. Der Bearbeitungsprozess verwendet diamantplattierte Runden, Polierköpfe und Aufschlämmungen, um präzise, wiederholbare Leistung zu bieten. AMAT Mirra Ontrak wird gemeinsam von Applied Material und Mirra entwickelt. Es nutzt die patentierte Mirra DryClean Technologie, um die Prozessumgebung trocken und sauber zu halten. Die Technologie eliminiert die Notwendigkeit von Plattensägen und chemischen Ätzchemikalien sowie optionaler Güllereinigung am Ende des Prozessschritts. Das System verfügt über einen vollständig geschlossenen Betrieb, der eine staubfreie Umgebung sowie hochautomatisierte Parameter gewährleistet, die eine hohe Durchsatzverarbeitung über mehrere Wafergrößen von 4 "bis 200 mm ermöglichen. Es kann auch verwendet werden, um Saphir, Quarz und andere harte Materialien zu verarbeiten. Die in der Maschine verwendete erweiterte Steuereinheit ermöglicht präzise automatisierte Parametereinstellungen mit mehrachsiger Bewegungssteuerung über Schleifqualität, Polierparameter, Vorschubgeschwindigkeit und Wafernivellierung. Dies macht es einfach, die besten Prozesszyklen für bestimmte Anwendungen mit genauer Anpassung für jeden Prozessschritt auszuwählen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Ontrak ist mit hochpräzisen Servomotorantrieben und mehrachsigen Steuerungen ausgestattet, die eine gleichmäßige Oberflächenbeschaffenheit, glatte Oberflächen und nahezu perfekte Wiederholbarkeit bei Teiloperationen ermöglichen. Die Maschine verfügt über einen 6-Stationen-Indexer, integrierte Waferpresse und Waferspannmaschine. Dies ermöglicht die vollständige Integration mit anderen Prozessanlagen und ist somit ideal für die Vollflussverarbeitung von der Ausdünnung bis zum Polieren. Die Maschine ist mit einer intuitiven Touchscreen-Benutzeroberfläche mit robusten Visualisierungswerkzeugen ausgestattet, mit denen komplexe Schleifzyklen und -prozesse einfach eingestellt und gesteuert werden können. Darüber hinaus bietet das integrierte Oberflächenanalysetool eine detaillierte Analyse der Oberflächenmikrostrukturen und -qualität. Insgesamt ist Mirra Ontrak eine anspruchsvolle automatisierte Bearbeitungsanlage zum präzisen Schleifen, Läppen und Polieren von Halbleiter- und optischen Bauelementen im kleinen bis großen Wafer-Maßstab. Mit seinem integrierten Steuermodell und der fortschrittlichen Automatisierung sorgt es für wiederholbare Leistung und hochpräzise Bearbeitung. Die Ausrüstung ist eine ideale Wahl für die Vollflussverarbeitung vom Ausdünnen bis zum Polieren.
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