Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone #9313449 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra Standalone
ID: 9313449
Weinlese: 1999
CMP System 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra Standalone ist eine automatisierte Ausrüstung für Präzisionsscheibenschleifen, Läppen und Polieren. Das System umfasst die Präzisionsstufe für das Schleifen und Polieren von Wafern; die COREBA-Stufe für das Wafer-Läppen; und die Apex-Stufe für den Waferdurchsatz. Die Präzisionsstufe kann Wafer bis 200 mm Größe präzise und automatisch schleifen und polieren. Es verfügt über vorprogrammierte Rezepte für wiederholbare und zuverlässige Polierergebnisse. Das Gerät nutzt eine wiederholbare Bewegungs- und Drucksteuerung mit integrierter Sichtprüfmaschine, um ein perfektes Polieren zu gewährleisten. Die COREBA-Stufe ist ein automatisiertes, zweistufiges Wafer-Läppwerkzeug für Wafer bis 200 mm Größe. Es verfügt über ein einzigartiges Vakuum-Design im Zentrum, mit dem der Wafer mit variabler Kraft geläppt werden kann. Es enthält mehrere Läppplatten für die Verarbeitung verschiedener Wafergrößen, die Flachheit und Rundheit des Wafers gewährleisten. Die Apex-Stufe ist ein integriertes Wafer-Durchsatz-Asset. Es verwendet mehrere Robotertechnologien, ein Vision-Modell zur Identifizierung und Ausrichtung von Wafern und eine Stanzbefestigungsfähigkeit. Dadurch können mehrere Wafer präzise durch die Ausrüstung bearbeitet werden. Das gesamte System ist auf Präzision und Wiederholbarkeit ausgelegt. Die hohe Genauigkeit der Bewegungssteuerung sorgt dafür, dass Wafer konsistent und wiederholbar verarbeitet werden, was qualitativ hochwertige Ergebnisse ermöglicht. Das Gerät enthält auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie Fehlerberichterstattung und automatische Abschaltung in Notsituationen. Alles in allem ist AMAT Mirra Standalone eine fortschrittliche Maschine zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern. Es verfügt über mehrere Stufen für jede Operation, alle mit Präzisionsbewegungssteuerungen und integrierten Sichtsystemen. Es enthält auch Sicherheitsfunktionen und mehrfache Robotertechnologie für Präzisionsscheibendurchsatz.
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