Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9256808 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9256808
Wafergröße: 8"
CMP System, parts machine, 8"
SECS / GEM
Main frame
Delivery slurry arm and pump
Transfer cross base
Polish upper platen
Polish platen gear box
System controller: Backside PCB board
Controller down force: AB Board
Inter platen
Clean cup
Breakers
Monitor
Damaged parts:
(3) Lower platens
(12) Cover scraps
(6) I/O and interlock boards
(3) Platen drivers and motors
(4) UPA Rotations
(4) NSK Motors
(4) Spindles
(12) UPA Regulators
(6) MEI Boards
(6) CPU Boards
(6) PC Assembly retrofit ML
(4) Heads
HCLU
Fabs relative part
Cables
DIW Mainfold retrofit ML
DC Power supply
Wet robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für höchste Präzision, Genauigkeit und Gleichmäßigkeit während des Waferbearbeitungszyklus entwickelt wurde. Das System kann Substrate im Bereich von 300mm bis 150mm aufnehmen und praktisch jede Art von Material handhaben. Es verfügt über eine fortschrittliche, automatisierte Bewegungseinheit, die entwickelt wurde, um Substrat- und Prozessvariabilität zu reduzieren und gleichzeitig den Durchsatz zu erhöhen. Die Maschine AMAT Mirra ist mit einem Präzisions-Wafer-Polierkopf ausgestattet, der die Variabilität der Schleifmittel reduziert und unabhängig von der Substratorientierung konstante Polierergebnisse liefert. Das Werkzeug ist auch mit einem geschlossenen Schleifendruck und Geschwindigkeitsregler ausgestattet. Diese Funktion hilft, die Möglichkeit der Substrat- und Prozessvariabilität zu eliminieren und gleichmäßige Polierergebnisse zu erzielen. Die fortschrittliche Bewegungssteuerungsplattform des Modells wurde entwickelt, um den Waferträger präzise über das Polierkissen zu manövrieren und eine optimale Prozesssteuerung zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra-Ausrüstung kann verwendet werden, um mehrere Folienschichten einschließlich Silikon, SiN und SiO2 zu verarbeiten. Das System verfügt über eine patentierte unabhängige Waferträgereinheit, die mehrere gleichzeitige Bearbeitungszyklen ermöglicht. Dadurch entfällt die manuelle Lohnabwicklung und die Ausfallzeiten werden drastisch reduziert. Mirra-Maschine kann auch verwendet werden, um Kantenrundungen, Würfel, Schleifen und Dünnarbeiten durchzuführen. Alle Operationen werden mit Präzision und Genauigkeit über die erweiterten Steuerungskomponenten des Werkzeugs erreicht. Das vollautomatisierte Asset von AMAT/APPLIED MATERIALS Mirra eliminiert den Bedarf an Handarbeit und ermöglicht höhere Effizienz und Produktivität. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die die Einrichtung und Nutzung der Geräte vereinfacht. Die Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, das System zu überwachen und notwendige Anpassungen während des gesamten Verarbeitungszyklus vorzunehmen. Sicherheitsmerkmale wie die Zonen- und Geschwindigkeitskontrolleinheit bieten darüber hinaus zusätzlichen Schutz und sorgen dafür, dass die Bediener in einer sicheren Umgebung arbeiten. Insgesamt ist die AMAT Mirra Maschine ein leistungsfähiges, zuverlässiges und effizientes Waferbearbeitungswerkzeug. Als umfassendes All-in-One-Asset bietet es Benutzern die Möglichkeit, Komponenten mit hochgenauen und einheitlichen Ergebnissen zu produzieren, ohne dass manuelle Arbeit erforderlich ist. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche und die Geschwindigkeitssteuerung bieten zusätzliche Sicherheit und Sicherheit. Mit dem Modell APPLIED MATERIALS Mirra können Anwender auf einfache und einfache Weise hohe Präzision und Genauigkeit im Waferbearbeitungszyklus erreichen.
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