Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #293625723 zu verkaufen
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ID: 293625723
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
CMP System, 12"
Wafer shape: Notch
(3) Load ports, 8"
Dry in/dry out system
Clear type skin
MESA Cleaner type
Operator interface: FI Load port 4
Heater lamp
Polisher options:
Profiler head
4-Port Upper Pneumatics Assembly (UPA)
Dark pad sensor
KAWASAKI Wet robot
(2) Slurries pump type
Slurry dispense arm: Fixed
Platen configuration (1, 2, 3):
Platen type: PFA Coater platen
Platen pad: IC 1010
Platen pad conditioner: Screw-type disc
Cleaner options:
MEGASONIC Tank
Type: Pressurized
Scrubber module for 1 and 2:
Brush type: Texwipe PVA
Delivery type: Pressurized low flow
Upper E84 Senor and cable
KAWASAKI Single arm track robot
Standard load port: Operator interface
Load port: (25) Enhanced wafers FOUP
Facilities options:
Line voltage: 200-300 V
Line frequency: 50/60 Hz
GFCI: 30 mA
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist ein modernes Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystem. Diese Maschine ist für die Verarbeitung empfindlicher Materialien wie Halbleiterscheiben, MEMS-Bauelemente und Nanoskala-Bauelemente mit höchster Genauigkeit konzipiert. Seine Konstruktion ermöglicht auch eine präzise Steuerung von Prozessparametern für optimale Leistung. AMAT Reflexion 3600 verwendet Hydroplaning-Technologie, um eine hochwertige Oberflächengüte und Gleichmäßigkeit auf Wafern und anderen harten Materialien zu ermöglichen. Die Hydroplane-Plattform ermöglicht einen kontinuierlichen Kontakt zwischen dem Werkstück und den Schleif-, Läpp- und Polierkissen. Dies hilft, die Oberflächenfärbung zu minimieren und die Bearbeitungszeit zu verringern. Die Maschine enthält einen Rotationswerkzeughalter mit Auto-Stop-Funktionalität. Auf diese Weise kann der Anwender die Menge des entnommenen oder in den Prozess eingebrachten Materials bei Bedarf genau steuern. Der Arbeitshalter wird auch mit einem eingebauten Rückseitenluftsystem geliefert. Dies hilft, Verformungen und Vibrationen zu reduzieren, was zu genauen, wiederholbaren Prozessergebnissen führt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Reflexion 3600 wurde entwickelt, um eine schnelle Prozesszykluszeit von weniger als 10 Minuten pro Wafer zu haben, so dass Benutzer schnell das gewünschte Ergebnis erzielen können. Die Maschine verfügt auch über eine einfach zu bedienende, intuitive Benutzeroberfläche, die die Einrichtung und Bedienung vereinfacht. Reflexion 3600 verfügt auch über eine mehrachsige Bewegungsplattform für präzises Rückseitenschleifen und Läppen. Es beinhaltet auch ein vorderseitiges Umweltgehäuse, das das System vor verunreinigbaren Verschmutzungen schützt. Darüber hinaus kommt die Maschine Standard mit einer Reihe von Sensoren und Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören mehrachsige Kollisionserkennung, rutschhemmende Sicherheitsmerkmale und Vibrationsschutz. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 eine leistungsstarke, zuverlässige und präzise Maschine, die Anwendern hilft, die höchste Prozessgenauigkeit für empfindliche Materialien zu erreichen. Sein ausgeklügeltes Design ermöglicht es Anwendern, schnell und effizient ihre gewünschten Ergebnisse zu erzielen.
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