Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223700 zu verkaufen
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ID: 9223700
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CMP System, 12"
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler system
JDS UNIPHASE Argon laser, 75 mW
Chuck edgegrip
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist eine fortschrittliche Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung für die F&E- und Halbleiterherstellung. Dieses System verwendet einen einzigartigen Polieransatz, der die Produktion sehr präziser und gleichmäßiger Ergebnisse ermöglicht. Das Gerät umfasst einen druckgesteuerten Polierkopf mit Auslegeraufhängung, umgeben von einer intelligenten Messmaschine, um Rückmeldung über den Polierprozess zu geben. AMAT Reflexion 3600 besteht aus einem paten-pending Polierkopf und einer modularen Platte, die für verschiedene Wafergrößen angepasst werden kann. Der Polierkopf umfasst ein Ausleger-Aufhängungswerkzeug, das durch einen automatischen Druckaufnehmer aktiviert wird und ein präzises und gleichmäßiges Polieren unabhängig von der Waferdicke ermöglicht. Die patentierte modulare Platte ermöglicht eine präzise Spezifizierung der Polierfläche für den Wafer. Es ist auch einstellbar, um verschiedene Wafergrößen aufzunehmen, von großen Düsen bis zu kleinen Substraten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen automatischen Druckregelsensor, der beim Polieren jede Änderung des Anpressdrucks ablesen und darauf reagieren kann. Dies ermöglicht eine adaptive Anpassung von Prozessparametern für eine Vielzahl von Wafertypen, wie GaAs, Si, SiC und GaN. Es verfügt auch über einstellbare Poliergeschwindigkeiten und ein Feedback-Modell, das die Plattengeschwindigkeit steuert, um ein einheitliches Ergebnis zu erhalten. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 über eine fortschrittliche Roboter-Ladeausrüstung. Dies ermöglicht eine automatisierte Beladung, Übertragung von Teilen und Prozessüberwachung. Dieses System verfügt auch über integrierte Diagnosen, die dem Benutzer bei der Erkennung und Fehlerbehebung von Geräteproblemen helfen. Für höchste polnische Qualitätsstandards umfasst Reflexion 3600 eine einzigartige Bildverarbeitungsmaschine, die hochauflösende Bilder des Substrats sowohl vor als auch nach dem Polieren aufnimmt. Dies ermöglicht einen direkten Vergleich und eine Prozessverbesserung. Sie speichert diese Ergebnisse auch in einer sicheren Datenbank, um eine sichere Übertragung der Daten an andere Abteilungen und Mitarbeiter zu gewährleisten. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ein leistungsstarkes, präzises und effizientes Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das für die Arbeit in einer Vielzahl von SEMI-Standardsubstraten entwickelt wurde. Seine Eigenschaften machen es zu einer großen Wahl für F&E- und Halbleiterherstellungsanwendungen.
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