Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223702 zu verkaufen
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ID: 9223702
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CMP System, 12"
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler system
JDS UNIPHASE Argon laser, 75 mW
Chuck edgegrip
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die entwickelt wurde, um optisch flache und glatte Oberflächen auf einer Vielzahl von Substraten herzustellen. Sein patentiertes Verfahren verwendet einen speziell entwickelten Diamantschleif-/Läppstein, um die Oberfläche des Wafers auf die gewünschte Rauhigkeit zu schleifen und zu schleifen. An das Waferschleifen schließt sich ein Mehrring-Polierverfahren an, um die gewünschte optische Qualität zu erreichen. Der AMAT Reflexion 3600 besteht aus einer kompakten, aber mit modernster Roboter- und Automatisierungstechnik ausgestatteten Vakuumkammer. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz und eine höhere Flexibilität für unterschiedliche Produkte, Substrate und Größen. Es kommt mit Ein- und Ausgangstechnologie sowie automatisiertem Be- und Entladen von bis zu 18 verschiedenen Substraten. Der Polierschritt des Verfahrens erfolgt mit diamantverstärkten Riemenscheiben, die den Wafer gegen eine Präzisions-Hydraulikvorrichtung antreiben. Dadurch wird eine optimale Gleichmäßigkeit und Kontrolle des Polierprozesses gewährleistet. Darüber hinaus verfügt das System über ein CLAPC-Modul (Closed-Loop Automated Pressure Control), das den während des Polierprozesses auf den Wafer ausgeübten Druck überwacht und eine präzise Kontrolle der Ergebnisse ermöglicht. Die ausgeklügelte Prozesssteuerung von APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ermöglicht eine vollständige Automatisierung des Betriebs und verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Oberfläche. Dies macht es einfach, Rezepte zu speichern und abzurufen, Richtlinien festzulegen, Auffälligkeiten zu erkennen und Prozessparameter zu verfeinern. Darüber hinaus bietet es eine Echtzeit-Überwachung des Schleif- und Polierprozesses sowie eine Reihe von Prozessdiagnosen und Fehlercodes, mit denen der Bediener die Wirksamkeit des Prozesses auf jeder Charge bewerten kann. Reflexion 3600 ist auch entworfen, um eine sichere und saubere Umgebung zu gewährleisten, da es vollständig eingeschlossen ist und eine Containment-Beuteleinheit verwendet, um die Kammer und ihre Komponenten sauber und partikelfrei zu halten. Zusätzlich enthält die Maschine ein robustes Vakuumwerkzeug zur Entfernung von Verunreinigungen in der Luft. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ein effizientes und zuverlässiges Gut zum Schleifen und Polieren von Wafern mit höchster Präzision. Seine präzise Prozesssteuerung, automatisierte Funktionalität und robuste Sicherheitsfunktionen machen es perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen.
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