Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9223735 zu verkaufen
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ID: 9223735
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
CMP System, 12"
(4) SMIF Systems
KENSINGTON Handler system
ARGON Laser
JDS UNIPHASE, 75 mW
Chuck edgegrip
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. AMAT Reflexion 3600 ist für optimalen Durchsatz, Flexibilität und Präzision ausgelegt. Es verfügt über ein kompaktes, offenes Footprint-Design, das Benutzern maximale Zugänglichkeit bietet und gleichzeitig die Integration in automatisierte Handlingsysteme ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Reflexion 3600 hat einen robusten und zuverlässigen magnetischen Schwebungslinearmotor, der eine hochpräzise Positionierung und Bewegung bietet, was zu Wafer-Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit von besser als 10 μ m führt. Es verfügt außerdem über zwei unabhängig voneinander gesteuerte Schleif-/Polierköpfe zur Aufnahme von Wafern bis 200 mm Durchmesser mit einer maximalen Drehzahl von 300 U/min. Reflexion 3600 umfasst auch ein vakuumunterstütztes Schleppsystem und einen programmierbaren Querkopf, der ein schnelles Be- und Entladen mit Z-Achsen-Höhensteuerung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine dreidimensionale Positionierung der Waferspindel und Montagehardware sowie progressive Prozessleistungskurven für optimale Ergebnisse in einer Vielzahl von Bearbeitungsbedingungen. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist für eine sichere und benutzerfreundliche Bedienung entwickelt. Es verfügt über eine Steuerungsmaschine, die über ein LCD-Touchscreen-Display eingestellt werden kann, mit einer breiten Palette von Parametern, wie Drehzahl, Drehmoment, Schalten auf/ab, Waferreinigung, Vakuumniveaus und automatische Trennung verfügbar. Das Tool verfügt außerdem über eine intuitive Benutzeroberfläche, die sehr benutzerfreundlich und intuitiv gestaltet ist und es dem Bediener ermöglicht, Prozesse schnell und präzise zu programmieren und auszuführen. AMAT Reflexion 3600 ist die perfekte Wahl für die Halbleiterherstellung und andere Anwendungen, die präzise Schleif- und Polierprozesse erfordern. Seine hochgenaue Positionierung und Wiederholbarkeit, kombiniert mit automatisierten Prozessen und benutzerfreundlicher Steuerung, machen APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 zu einer zuverlässigen Lösung, um ideale Ergebnisse zu erzielen.
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