Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 #9379444 zu verkaufen
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ID: 9379444
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CMP System, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
(3) Platens, 30"
Maximum speed: 133 RPM
Pad conditioner, 4"
3 Type DDF, 30-120 RPM
Slurry line: Maximum 400 ml/min
Torque end point system
(4) Heads:
Membrane press head: 3 Zones 0-15 psi
Spindle speed: Maximum 200 RPM
Cleaner 1:
Megasonic cleaner
With (2) rollers and idler
DIW Flow: 2.01 / min
Temprature controller: 20° - 50°
Wafer rotation speed: 6 RPM
Power: 950 kHz, 600 W
Cleaner 2:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW delivery: 2000 ml/min
NH4OH: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Cleaner 3:
(2) Brushes
With (3) rollers and idler
Brush rotation speed: Maximum 700 RPM
Wafer rotation speed: Maximum 50 RPM
DIW Delivery: 2000 ml/min
FPM: 2000 ml/min
Brush rinse:
DIW: 1000 - 4000 ml/min
Dryer:
Spin rinse dryer
Maximum speed: 2500 RPM
Infrared ramp heater: 1000 W
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die entwickelt wurde, um präzise, schnelle und konsistente Ergebnisse während jedes Waferproduktionsprozesses zu liefern. Ideal für den Einsatz in der Halbleiter- und MEMS-Fertigung, bietet dieses System robuste Leistung und Vielseitigkeit auf einer breiten Palette von Substraten, von Metallen über Keramik bis hin zu Glas. Der 3600 ist mit vier unabhängigen Schleif-/Läpppositionen gebaut, so dass er bis zu vier Substrate gleichzeitig für eine schnelle und effiziente Produktion handhaben kann. AMAT Reflexion 3600 verfügt über einen Lastabschnitt, der bis zu 200mm Wafer mit einer Kapazität von 8 Zoll unterstützt. Der Lastabschnitt ist vollständig in einem Gehäuse aus Edelstahl für maximale Sicherheit und Leistung eingeschlossen. Der verstellbare Lade- und Positioniertisch kann Substrate zwischen 4 und 11 Zoll Durchmesser aufnehmen. Der Lastabschnitt enthält auch erweiterte Sensoren und Software, die eine genaue Substratausrichtung ermöglichen und Fehlbelastungen verhindern. APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 verfügt auch über eine hochauflösende optische Betrachtungseinheit und X-Achse/Y-Achse Bewegungsmaschine, um eine breite Palette von Substratgrößen und Formen unterzubringen. Ein integriertes geteiltes Rahmenwerkzeug ermöglicht eine präzise Platzierung des Substrats. Der Schleif-/Läppprozess des 3600 wird durch eine fortschrittliche und hochpräzise Servokontrolle angetrieben. Dadurch kann der Bediener präzise und wiederholbare Vorschubgeschwindigkeiten, Schleifradgeschwindigkeiten und Diamantradgeschwindigkeiten einstellen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das Modell ist auch mit einer fortschrittlichen Sicherheitsausrüstung ausgestattet, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Reflexion 3600 ist mit einer breiten Palette von Upgrade-Optionen. Es kann mit benutzerdefinierten Steuerungen für spezifische Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen ausgestattet werden. Es ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von kundenspezifischen Schleifscheiben, Diamantscheiben und flachen Rundenkonfigurationen. Der 3600 beinhaltet auch eine leistungsstarke Software-Suite, die Setup, Automatisierung und Prozessüberwachung erleichtert. Zusammenfassend ist AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion 3600 ein hochentwickeltes Schleif-, Läpp- und Poliersystem, das präzise und konsistente Ergebnisse liefert. Dieses Gerät verfügt über eine Vielzahl von erweiterten Funktionen und Optionen für eine Reihe von Substraten und Anwendungen. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie einen schnellen, effizienten und kostengünstigen Produktionsprozess ermöglicht.
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