Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper #293802361 zu verkaufen
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AMAT (APPLIED MATERIALS) Reflexion LK Cupper ist eine Ganzzyklus-Ausrüstung zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, die für die Herstellung von Verbundhalbleitermaterialien wie konventionellen 3D und integrierten 3D-Schaltungen entwickelt wurde. Das System umfasst eine Reihe von Komponenten, die für die Herstellung solcher komplexer Strukturen unerlässlich sind, die für eine Vielzahl von industriellen Anforderungen unerlässlich sind. Erstens verfügt der LK Kupfer über einen automatisierten Waferschleifer, der sowohl Kanten als auch Oberflächen unterschiedlicher Wafergrößen von 150 mm bis 100 mm und darunter präzise schleifen kann. Der Wafer-Schleifer ist mit Funktionen ausgestattet, die Verschmutzungen minimieren und die Wärmebelastung reduzieren, eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit ermöglichen und ihn für die Veredelung komplexer Strukturen gut geeignet machen. Als nächstes ist die Läppstation der LK-Kupfereinheit eine hochwertige Polierlösung, die auf beste Leistung ausgelegt ist. Ausgestattet mit Advanced Sub-Aperture Polierungstechnologie ist die Läppstation in der Lage, Oberflächen zu produzieren, die strengen Ebenheit und Rauheit Anforderungen entsprechen. Dadurch wird sichergestellt, dass die gewünschte Oberflächengüte erreicht wird und gleichzeitig die thermische Beanspruchung minimiert und ein maximaler Durchsatz gewährleistet wird. Schließlich ist die Polierstation von LK Copper mit einer Reihe automatisierter Prozesse ausgestattet, die Oberflächendefekte minimieren und eine gleichmäßige Oberflächengüte gewährleisten. Diese Verfahren umfassen fortgeschrittene Planarisierungstechniken, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und elektrochemisches mechanisches Polieren (ECMP) Fähigkeiten, unter anderem fortschrittliche Techniken. Die Ergebnisse dieser Prozesse sind Oberflächen, die die Anforderungen an 3D-konventionelle und 3D-integrierte Schaltungen erfüllen, einschließlich Wafer mit einer Größe von bis zu 150 mm. Insgesamt bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Copper Wafer Schleif-, Läpp- und Poliermaschine eine integrierte Lösung für die Herstellung von Verbundhalbleitermaterialien, die für eine Vielzahl von Industrieanwendungen geeignet sind. Die Komponenten des Werkzeugs sind auf Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt und ermöglichen eine hohe Prozesswiederholbarkeit und maximalen Durchsatz. Das LK Kupfer produziert Oberflächen, die hohe Anforderungen an Ebenheit und Rauheit erfüllen, die strukturelle Integrität und Maßhaltigkeit gewährleisten.
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