Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK #9283335 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9283335
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Dielectric CMP system, 12"
Process: SIF, BPSG, Poly buff CMP
AMAT Reflexion LK:
(4) Heads
(3) Platen polishing systems
Dry in and dry out
Polisher skins
Gap wash
Load cup wafer exchanger
NOVA 3090 Next ready
(2) Monitors
Light tower
FOUP
WIP Delivery type
OHT Light curtain
E84 PI O Sensors and cables
E99 Carrier ID
Docked E99 reading capability
Docking flange shield
Frame configuration
Load ports
Load port operator interface
Operator access switch
Platen type
High pressure rinse flow meter
Rinse arms
Platen pad conditioner
Flow meter
Polishing technology
Polishing head
Cross break
Pad wafer loss sensor
Inter platen clean
Upper pneumatics assembly
ISRM Laser key switch
Slurry delivery system
Power cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Encoder cable (Head 1, Head 2, Head 3, Head 4)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
AMAT ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für eine Vielzahl von Anwendungen hervorragende Ergebnisse liefert. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK-System bietet eine Reihe von Vorteilen, die es ideal für Produktionsprozesse machen. Es verfügt über eine robuste Plattform zur Bearbeitung von Wafern bis 300 mm Durchmesser mit bis zu acht Schleif-/Läpp-/Polierköpfen. Diese Konfiguration bietet hohen Durchsatz und Vielseitigkeit, sodass das Gerät eine Vielzahl von Anwendungen aufnehmen kann. Darüber hinaus ist AMAT Reflexion LK mit fortschrittlicher Prozessregelungstechnologie ausgestattet, die Präzisionsergebnisse gewährleistet. Diese Präzision wird durch den Wechselspindelmotor mit variabler Drehzahl ergänzt, der eine kontrollierte Materialabtragsrate bei gleichmäßigem Materialabrieb ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN REFLEXION LK Reflexion LK verfügt auch über mehrere Spannmechanismen, die es für eine Vielzahl von Werkstücken gut geeignet machen. Dazu gehört eine patentierte Luft-Wellen-Transferklemme zur Aufnahme planarer Substrate sowie die beliebte 5-Punkt-Klemme für runde Wafer bis 200 mm Durchmesser. Weitere Merkmale von Reflexion LK sind ein innovatives modulares Getriebe, das eine einfache Kopfkonfiguration, Erweiterbarkeit und Wartungsfreundlichkeit ermöglicht. Die Maschine ist auch mit integrierter Überwachung und Diagnose der Maschinengesundheit ausgestattet und bietet ein hohes Maß an Bedienersichtbarkeit. Und das Design des Reflexion ermöglicht eine Vielzahl von Reinigungsprozessen, einschließlich automatisierter Partikelreinigung und chemischer/Gasreinigung. Alles in allem bietet APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK Reflexion LK eine leistungsstarke Leistung, die hervorragende Ergebnisse mit Wiederholbarkeit und Präzision liefert. Die High-Tech-Programmierung, das robuste Design und die breite Palette an Spannmöglichkeiten machen es für eine Vielzahl von Prozessen gut geeignet. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung und integrierten Diagnose-/Wartungsfunktionen bietet AMAT Reflexion LK die perfekte Lösung für eine Reihe von Wafer-Schleif-, Läpp- und Polieranwendungen.
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