Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK #9372768 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion LK
ID: 9372768
Wafergröße: 12"
CMP System, 12" Process: Tungsten.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion LK ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die zur Verarbeitung von Wafersubstraten von 200mm bis 450mm Durchmesser entwickelt wurde. Das System hat die Fähigkeit, Substrate auf die höchstmögliche Politur zu verarbeiten, was zu den fehlerfreiesten Oberflächen für die Herstellung von führenden Geräten führt. Die Einheit besteht aus einem CNC-gesteuerten Substrathandhaber, Schleifer, Lapper, Polierer und Diamantschlamm-Verteilmaschine. Der CNC-Handler bewegt das Substrat in X-, Y- und Z-Richtung und bietet eine vollständige 3D-Positionierungssteuerung. Der Handler wurde entwickelt, um die Rauheit und Oberflächenebene des Substrats zu erhalten und gleichzeitig drei Grad der Waferorientierung und der einstellbaren Griffkraft bereitzustellen. Der Schleifer ist ein Drehwerkzeug mit hohem Drehmoment, das hohe Flecken und Oberflächenrauhigkeiten vom Wafersubstrat entfernt. Es kommt mit einem Hochdruckwandler und einem PID-gesteuerten Gerät für schnelles und präzises Schleifen. Der Lapper verfügt über ein zweistufiges Hochdruckpolster-Modell für schnelles und gleichmäßiges Läppen. Der integrierte Druckaufnehmer sorgt für gleichmäßigen Druck für gleichmäßige Schichten. Der Polierer wird mit einer drehmomentstarken Drehausrüstung zur aktiven und passiven Bewegungssteuerung geliefert. Es verfügt über eine integrierte PID-Druckregelung, die ein präzises Läppen und Polieren ermöglicht. Schließlich wurde die Diamond Slurry Distribution Unit entwickelt, um eine einheitliche Diamantschlammverteilung und Sedimententfernung zu gewährleisten. Es verwendet eine proprietäre pulsierende Entnahmemessmaschine, um die Freisetzung von Gülle im Laufe der Zeit zu steuern. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Diamantabscheidung auf dem Wafer beim Läppen und Polieren. Insgesamt ist AMAT Reflexion LK ein fortschrittliches Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das zur Herstellung fehlerfreier Oberflächen auf höchstmöglicher Polierebene entwickelt wurde. Der CNC-gesteuerte Handler und die integrierte Diamantschlammverteilung ermöglichen präzises und gleichmäßiges Läppen und Polieren. Sein robustes und zuverlässiges Design macht ihn zu einem der fortschrittlichsten Systeme zur Verarbeitung von Geräten der nächsten Generation.
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