Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9056492 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion
ID: 9056492
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
CMP system, 12", 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion, ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die es Halbleiterherstellern ermöglicht, MEMS-Verarbeitung und Feinschleifen effektiv anzuwenden, um ultraflache, beschädigungsfreie Oberflächen für MEMS-Komponenten zu erzeugen. AMAT Reflexion ist mit einem automatisierten 6-Achsen-Roboter mit 5 „und 6“ Hartmetall-Läppplatten, Diamant-Pads und Gülleschalen konfiguriert. Der automatisierte Roboterarm bewegt die Schleifwerkzeuge auf einem fein ausbalancierten mehrachsigen Programm, um eine überlegene Oberflächenebene und gleichmäßige Dicke über eine Vielzahl von Materialien zu erreichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Reflexion ist auch mit Präzisionsüberwachung und Navigation (PMN) -Technologie ausgestattet, die es dem Roboter ermöglicht, Höhen, Winkel, Abstände und andere Parameter der Schleiffläche genau zu messen und die richtige Menge an abrasiven Medien entsprechend der erforderlichen Spezifikation auszugeben. Darüber hinaus überwacht ein hochmodernes Regelungssystem ständig den Prozess, um die Herstellung von Schleifen höchster Qualität zu gewährleisten. Das Gerät ist auch mit einer Vision-Maschine ausgestattet, die das eingehende Material scannt und etwaige Unvollkommenheiten oder Defekte während des Schleifvorgangs beurteilt. Reflexion ist auch mit einem Staubsammler mit einem filterlosen Design ausgestattet, das eine saubere Wafer-Handhabungsumgebung ohne Verschmutzung der bearbeiteten Wafer ermöglicht. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen dreiachsigen Partikelzähler, der Verunreinigungen durch Messung von Partikeln eingebetteter Schleifkörner verhindert. AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion verfügt auch über eine Touchscreen-Schnittstelle, die eine einfache Bedienung, Datenerfassung und Echtzeit-Überwachung ermöglicht. AMAT Reflexion wird mit einem Softwareprogramm geplant und optimiert, um einen reibungslosen Betrieb und einen effizienten Einsatz von Schleifwerkzeugen zu gewährleisten. Die Anlage ist in einer Produktionslinie problemlos in andere Systeme integriert, was den Prozess vereinfacht und nachgeschaltete Anlagen vor Abrieb oder Verschmutzung mit Schleifmitteln schützt. Darüber hinaus kann APPLIED MATERIALS Reflexion eine Vielzahl von gängigen Materialien verarbeiten, die in der MEMS-Fertigung verwendet werden, und unterstützt eine Reihe von Poliergeschwindigkeiten, bis zu 0,5 Mikrometer pro Sekunde. Reflexion wurde für hohe Leistung und Zuverlässigkeit konzipiert, so dass Halbleiterhersteller Komponenten mit perfekten Oberflächen für MEMS-Anwendungen herstellen können. Dies ist ein fortschrittliches Modell zum Schleifen und Polieren, ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie.
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