Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390825 zu verkaufen
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ID: 9390825
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Dielectric CMP System, 12"
Process: Oxide
(11) Workstations
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: AC 208 V, 3 Phase
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für eine Vielzahl von Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es wird hauptsächlich zum Rückseitenschleifen und Läppen von Halbleiterscheiben wie Si, GaAs oder Ge verwendet. Das System besteht aus einer modularen Plattform, die Schleifkopf, Läppplatte, Scheibenfutter und Waferträger koppelt. AMAT Reflexion-Einheit ermöglicht maximale Flexibilität für alle Fertigungsschritte für die Entwicklung von Spitzengeräten. Der Schleifkopf von APPLIED MATERIALS Reflexion ist für die Bearbeitung großer und kleiner Wafergrößen mit einer beeindruckenden durchschnittlichen Abtragsrate ausgelegt. Der Drehschleifkopf ist in einem luftdichten Fach eingeschlossen, so dass er für eine breite Palette von Reinraumoperationen geeignet ist. Sein Rührwerk-Design sorgt dafür, dass alle Schleifschlamm während des Schleifprozesses herausgefiltert wird, was für höhere Qualitätsergebnisse sorgt. Der Schleifkopf kann entweder mit einem oder zwei Schleifsteinen ausgebildet sein, die je nach Anwendungsfall indiziert werden können. Die Läppplatte von Reflexion wurde entwickelt, um die optimale Oberflächengüte zu gewährleisten. Es verwendet einen hochpräzisen Achsbewegungsmechanismus, der eine aktive Trommelbewegung ermöglicht und eine Genauigkeit von unter Millimetern bei Wafer-Positionierungs- und Topographiemessungen ermöglicht. Die Platte ist aus hochfestem Edelstahl gefertigt und in verschiedenen Größen erhältlich. Zusätzlich ist die Läppplatte verstellbar, um einen weiten Bereich von Durchmessern und Dicken aufzunehmen. Das Wafer-Futter und der Waferträger für AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexionsmaschine sind darauf ausgelegt, den Wafer während des Schleif- und Läppvorgangs schnell und präzise zu halten und zu führen. Der Träger dient zur Befestigung des Wafers am Schleifkopf, während das Spannfutter zum Läppen verwendet wird. Beide Komponenten sind am Schleifkopf befestigt und ermöglichen eine einfache und präzise Positionierung. Spannfutter und Träger können über die Benutzeroberfläche mit einem einzigen Knopf zur Einstellung von Druck und Geschwindigkeit des Schleif- oder Läppvorgangs gesteuert werden. AMAT Reflexion ist mit einer Vielzahl von Sicherheits- und Überwachungsgeräten ausgestattet. Dazu gehören eine angetriebene Verriegelung, die die Maschine im Falle eines unsicheren Zustands stoppt, sowie eine optische Kamera, die zur Überwachung der Waferdicke und des Zustands verwendet werden kann. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Reihe von Diagnosefunktionen, z. B. Diagnosen zum Erkennen und Warnen des Bedieners auf unsachgemäße Schleif- oder Läppgeschwindigkeiten. Darüber hinaus ermöglicht die Onboard-Diagnose den Anwendern, das Asset schnell und präzise neu zu kalibrieren, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. APPLIED MATERIALS Reflexion ist ein hochmodernes Modell zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern, das maximale Flexibilität und Präzision für die Gerätebearbeitung bietet. Der leistungsstarke Schleifkopf und die präzise Läppplatte ermöglichen es dem Bediener, aus jeder Waferbearbeitungsanwendung die besten Ergebnisse zu erzielen. Die hochmodernen Sicherheits-, Überwachungs- und Diagnosefunktionen sorgen dafür, dass alle Operationen sicher und effektiv durchgeführt werden.
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