Gebraucht APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #151915 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 151915
CMP system
Specifications:
Wafer handling robot (integration capable)
(1) 20" platen (ISRM capable)
(4) Load cups
(1) Pad conditioner
(3) Pad conditioner cleaners
(3) Inter platen cleaners
(3) Slurry delivery systems (MIPS)
VME controller Pentium III, 128 SRAM
De-installed 2009
2000 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Mesa ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Das benutzerfreundliche Design ist vollautomatisch für die Hochgeschwindigkeits- und Hochleistungsproduktion. Die integralen Komponenten des Systems sind auf maximale Effizienz bei minimaler Wartung ausgelegt. Mirra Mesa besteht aus einer Roboter-Wafer-Handlingstation, einer Wafer-Schleifstation, einer Wafer-Läppstation und einer Wafer-Polierstation. Der Roboter lädt, entlädt und überträgt schnell Wafer zwischen den Schleif-/Läpp-/Polierstationen. Die Schleifstation verwendet Diamantschleifscheiben, die auf einer geschlossenen, präzisionsgesteuerten Spindel montiert sind, um den Wafer zu formen. Die Läppstation ist mit einem mehrachsigen Gantry für präzise Oberflächenschliff ausgestattet. Die Polierstation ermöglicht die Feinbearbeitung und die Kontrolle der Oberflächenrauhigkeit mit einem dreiachsigen Präzisionsantrieb. Die gesamte Einheit ist für eine breite Palette von Wafermaterialien wie Silizium, Silizium-auf-Isolator und andere Materialien ausgelegt. Die integrierte Steuerungsmaschine verfügt über eine schnelle Datenerfassung und -steuerung, die eine einfache Programmierung und Datenspeicherung ermöglicht. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Mirra Mesa äußerst präzise, mit Werkzeugzentren in allen drei Bewegungsachsen sowie ausgezeichneter berührungsloser Lagertechnik für spielfreies Spiel in allen drei Achsen. Das Werkzeug bietet überlegene Luftfiltration mit allen Schleif-, Läpp- und Polierpartikeln, die außerhalb des Arbeitsbereichs erschöpft sind und die Sicherheit des Bedieners und der Ausrüstung gewährleisten. Automatisierung des Prozesses, benutzerfreundliche Programmierung und erhöhte Sicherheit ermöglichen es dem Bediener, effizienter zu werden und den Ertrag zu steigern. Mirra Mesa Asset ist auch erweiterbar, mit zwei- und dreiachsigen Konfigurationen. Das Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafermaterialien in kürzerer Zeit und mit besseren Erträgen als herkömmliche Methoden genau zu schleifen, zu läppen und zu polieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Mirra Mesa ist eine hochmoderne Ausrüstung, die die Kosten und Komplexität des Waferschleifens, Läppens und Polierens reduziert.
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