Gebraucht BUEHLER Phoenix 4000 #177485 zu verkaufen

BUEHLER Phoenix 4000 ist eine fortschrittliche, automatisierte Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die für maximalen Durchsatz und Prozesstreue für die Anwendung von Waferherstellung und Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Das System entfernt Halbleiterdefekte von der rohen Waferoberfläche, um hohe Ausbeute Wiederholbarkeit für kritische Dimension Gleichmäßigkeit und Wafer Planarität zu gewährleisten. Phoenix 4000 verwendet ein dreistufiges Verfahren, bestehend aus Schleifen, Läppen und Polieren. Während der Schleifphase verwendet die automatisierte Einheit Elastomerbänder, um schnell und genau Material aus dem Wafer zu entfernen, während die Läppphase Diamantmasse und Schleifpapier verwendet, um eine glatte, gleichmäßige Oberfläche auf der Waferoberfläche zu erreichen. Die letzte Phase des Verfahrens, das Polieren, wird dann verwendet, um ein sehr niedriges Ra (Rauhigkeitsmittel) auf der Waferoberfläche zu erreichen und die erforderliche Dünnschichtabscheidung zu erreichen. BUEHLER Phoenix 4000 verfügt zudem über eine Vielzahl modernster Sicherheitsmerkmale, darunter ein Totalgehäuse zum Schutz vor Staubpartikeln und einen einstellbaren Kraftsensor, der den Druck überwacht, der während des gesamten Polierprozesses auf den Wafer ausgeübt wird. Darüber hinaus verfügt es über eine automatisierte Waferschutzmaschine zum Verhindern von Überschleifen und ein LCD-Monitor-Display zur vollständigen Prozesssteuerung. Zusammenfassend ist Phoenix 4000 ein hochentwickeltes und automatisiertes Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug, das für maximalen Durchsatz und Prozesstreue für die Anwendung von Waferherstellung und Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen und Prozesssteuerungen sowie eine Vielzahl von Elastomerbändern und Diamantmasse für Genauigkeit und Wiederholbarkeit.