Gebraucht DNS / DAINIPPON AS-2000 #293733191 zu verkaufen
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ID: 293733191
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
CMP System, 8"
Dual brush and top side brush chambers
Spin dry
Gases: DHF, NH4OH
(2) Chemical cabinets
MX-7500 TBC Brush load cell amp
PRETECH Fine jet Generator
AC Transformer
FA-21000A PC
YASKAWA SGD Drive
HF Circulation filter
UT3-F3AE-B touch panel
HFC-VWE Hitachi inverter
RORZE Curt-2032-0
Slurry flow controller interface
Power box
IFC-7300-001 Distribution box
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000 ist eine vollautomatische Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die zum präzisen Schleifen, Schlagen und Beenden von Silizium und anderen Verbundhalbleiterscheiben entwickelt wurde. Das System ist die vielseitigste und fortschrittlichste verfügbare Automatisierungs- und Prozesssteuereinheit. Es ist in der Lage, eine überlegene Scheibenoberfläche mit überlegener Scheibenebene und Dicke zu erzeugen. DNS AS2000 bietet ideale Ebene und Winkelschleifen von symetrischen und asymmetrisch gemusterten Wafern, einschließlich Schritt, über und Bump Schleifen. Polieren wird durch eine frei bewegliche Schleifgegenstandsmaschine erreicht, die eine schnelle und genaue Ebenheit, Gleichmäßigkeit und Dickenanpassung ermöglicht. Das Werkzeug bietet auch eine Vielzahl von Polier- und Schleifparametern, einschließlich der Wahl der Verwendung verschiedener Diamantpartikel für verschiedene Prozesse. Die Anlage ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Sicherheitssystemen wie Druckreglern, Vakuumsystemen und Temperaturregelgeräten ausgestattet. Dies gewährleistet präzise und wiederholbare Prozesse mit überlegener Waferoberflächenbeschaffenheit und Qualität. Weitere Merkmale sind ein Wafer-Feeder und ein Wafer-Rahmen, der es einfach macht, die Wafergröße einzustellen, ein SPS-Controller mit einem Touch-Panel, das eine einfache Prozessauswahl bietet, und ein integrierter, mehrfacher Schleif- und Poliermodus. Für eine optimale Schleifproduktivität und Prozessleistung wurde DAINIPPON AS 2000 mit einer Vielzahl fortschrittlicher Softwarefunktionen entwickelt, die es dem Benutzer ermöglichen, die Schleif- und Polierparameter wie Abrichtparameter, Diamantgröße und -grad, Grenzflächendruck, Geschwindigkeitsprofil, Oszillation und Materialentfernungsrate genau zu steuern. Das Modell unterstützt auch die Prozessautomatisierung über integrierte Datenbanken und programmierbare Logikcontroller. Die Anlage verwendet ein realistisches System zur Anwendung des erforderlichen Schleif- oder Polierdrucks, das stark vom Zustand der Oberflächen beeinflusst wird. Das Schleif-Polier-Steuergerät beinhaltet außerdem ein voll integriertes Softwarepaket zur Überwachung, Steuerung und Analyse des Schleifprozesses, um extrem enge Toleranzen und eine kontinuierliche Waferdatensammlung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist DNS/DAINIPPON AS 2000 eine hochentwickelte Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine, die eine hervorragende Oberflächengüte für Wafer mit überlegener Flachheit und Dicke bietet. Es ist in der Lage, die Oberfläche einer Reihe von Verbundhalbleiterscheiben präzise und präzise zu schleifen, zu läppen und zu polieren und ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Sicherheitssystemen ausgestattet, was es zur idealen Wahl für eine Vielzahl modernster Waferbearbeitungsanwendungen macht.
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