Gebraucht EBARA EPO-113 #293760238 zu verkaufen

EBARA EPO-113
ID: 293760238
CMP Systems.
EBARA EPO-113 Wafer Schleifen, Läppen & Polieren Ausrüstung ist eine sehr zuverlässige, automatisierte und benutzerfreundliche Maschine. Es ist ein robustes, halbautomatisches System, das Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm schleift, lappt und poliert. EBARA EPO 113 ist eine ideale Einheit für manuelle und halbautomatische Prozesse mit bis zu 150 mm/min, mit einer Schleifgenauigkeit von 0 .5um. Die Edelstahl-Seitenschienen ermöglichen eine lineare Bewegung und die Maschine ist für die Handhabung von Wafer-Stapeln ausgelegt, kombiniert mit einem Schleifprozess, der eine gleichbleibend hohe Oberflächengüte auf beiden Seiten des Wafers bietet. Das robuste und zuverlässige Design sorgt für Stabilität und Wiederholbarkeit in einer Vielzahl von Produktions- und Forschungsumgebungen. Das All-in-One-Werkzeug umfasst eine Spindel, eine Läppplatte, eine Läppplattenauskleidung und einen speziellen Saughalter, um eine sichere und genaue Kontrolle über jeden Prozess zu gewährleisten. Es verfügt über eine Eingriffstiefensteuerung, mit der Benutzer aus einem voreingestellten Bereich von Schleiftiefen auswählen können. Darüber hinaus verfügt EPO-113 über einen integrierten Indikator zur automatisierten Steuerung des Schleifprozesses. EPO 113 verwendet einen sehr leisen, hochgenauen Direktantriebsmotor, um ein reibungsloses, vibrationsfreies Schleifen, Läppen und Polieren zu gewährleisten. Der Motor bietet einen variablen Drehzahlbetrieb mit federbelasteten Druckplatten, die für gleichmäßige Ergebnisse sorgen. Ein integriertes Vakuum-Modell mit programmierbaren Vakuumpegeleinstellungen hilft, die Menge des verwendeten Mahlmittels zu reduzieren und höchste Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. EBARA EPO-113 verfügt über eine einfache und einfach zu bedienende Bedienoberfläche, mit der Benutzer die Maschinenparameter einstellen und überwachen können. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Prozessüberwachung dem Anwender, die Wafer-Schleifleistung zu beobachten und eine Zusammenfassung der Prozessparameter und -ergebnisse anzuzeigen. Schließlich beinhaltet EBARA EPO 113 ein komfortables Reinigungs- und Serviceverfahren, mit dem Benutzer Komponenten schnell reinigen und austauschen können, ohne dass ein spezialisierter Servicetechniker erforderlich ist.
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