Gebraucht EBARA EPO-113 #293825809 zu verkaufen

EBARA EPO-113
ID: 293825809
CMP System Normal head Oxide CMP Host station Renesas upside +8K/m tool.
EBARA EPO-113 Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung bietet leistungsstarke und präzise Wafer Schleifen, Läppen und Polieren Fähigkeiten für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist in der Lage, einseitige oder doppelseitige Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll bei Geschwindigkeiten von bis zu 15.000 U/min zu handhaben, was eine außergewöhnliche Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Das schlanke Maschinendesign von EBARA EPO 113 eliminiert Komplexität bei gleichzeitiger Gewährleistung von Zuverlässigkeit und Genauigkeit. Es verfügt über eine vollständige Auswahl an Präzisions-Schleifprodukten, von gebundenem Diamant und Schleifscheiben bis hin zu Harz und Polierfilzen. Es hat auch ein dreiachsiges Linearmotorsystem zur unabhängigen Steuerung des Waferträgers, Schleifkopf und Poliertische mit einer Auflösung von 0,01 Mikron und einer Wiederholbarkeit von 0,5 Mikron. EPO-113 ist auch außerordentlich flexibel und bietet die Möglichkeit, mit einem einfachen Austausch von Kopf und Tisch in Sekunden vom Schleifen zum Polieren zu wechseln. Die Waferpositionen für die Schleifpositionierung und der Poliertisch sind in der Steuerung voreingestellt, so dass nach einer Umschaltung alle Parameter gleich bleiben. Das intuitive, benutzerfreundliche 12 "LCD-Bedienfeld mit farbigem Grafikdisplay ermöglicht eine einfache Steuerung des Wafer-Schleif- und Polierprozesses. Die Prozessparameter wie Geschwindigkeit, Druck und Schleifmittel sind leicht einstellbar, während der Prozess manuell gesteuert oder über eine Rezeptur programmiert werden kann. Die Maschine verwendet auch RFID-Technologie, die Korngröße, Typ und Schnitt automatisch erkennen kann. Dies automatisiert den Schleif- und Polierprozess weiter und sorgt für konsistente Ergebnisse. Schließlich ist die Sicherheit des Betreibers und jener in der Nähe kritisch. EPO 113 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen konzipiert, einschließlich einer intuitiven aktiven Sicherheitsverriegelungsmaschine und LED-Anzeigen, einem Hochdruckbehälter Isolierung Funktion, und Staubsammler Entlüftungsöffnungen für Staubsammlung und Partikelentsorgung.
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