Gebraucht EBARA EPO-113 #9219031 zu verkaufen

EBARA EPO-113 ist eine hochmoderne multifunktionale Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung. Es ist für die Herstellung einer breiten Palette von flachen, perfekt bearbeiteten Oberflächen auf einem Wafer mit unterschiedlichen Anforderungen konzipiert. EBARA EPO 113 vereint Leistungsfähigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit in einem System. EPO-113 verfügt über zwei unabhängige Träger, von denen jeweils vier 3-achsige numerische Schleifspindeln und zwei Träger in die Einheit eingebaut sind. Die 3-Achsen-Spindeln können so programmiert werden, dass sie über eine Vielzahl von Behandlungen gleichmäßige und präzise Ergebnisse erzielen. Die beiden Träger sind in der Lage, mit verschiedenen Funktionen unabhängig zu arbeiten, so dass die Maschine mehrstufiges Schleifen, Läppen und Polieren mit einem einzigen Durchgang durchführen kann. Dies spart Zeit und erhöht die Genauigkeit und Produktivität. EPO 113 ist mit geschlitzter Oberflächenplatte zur sicheren Positionierung der Wafer ausgestattet, was der gesamten Einheit eine verbesserte Genauigkeit verleiht. Das Werkzeug ist mit Luftreinigungsmechanismen einschließlich abgedichteter Gehäuse und Vakuumrückgewinnungssysteme gegen Staubverschmutzung geschützt. EBARA EPO-113 verfügt über einen hochauflösenden digitalen Anzeigemonitor, der eine visuelle Bestätigung der Prozessparameter ermöglicht und eine gute Kontrolle und Rückverfolgbarkeit bietet. Das Asset ist modular aufgebaut und kann an die spezifischen Bedürfnisse des Kunden angepasst werden, sodass das Modell für einen einfachen Transport und eine einfache Lagerung auseinander genommen werden kann. EBARA EPO 113 ist mit fortschrittlicher Sicoya-Steuerungssoftware ausgestattet, die einfach zu bedienen und intuitiv zu bedienen ist. Es ermöglicht Benutzern die einfache Programmierung und Steuerung mehrerer Prozesse und führt zu einer genauen Waferverarbeitung. Die Software ermöglicht auch die Datenerfassung und Rückverfolgbarkeit von Wafer-Prozessparametern, was für das Qualitätsmanagement der Wafer-Verarbeitung nützlich ist. Als Polierer auf Waferebene bietet EPO-113 hervorragende Lösungen für die Waferbearbeitung. Seine hochgenauen Bearbeitungsergebnisse bieten eine verbesserte Produktqualität und -ausbeute. Die Fähigkeit seiner 3-Achsen-Ausrüstung, mehrere Bearbeitungsschritte in einem Durchgang durchzuführen, reduziert die Zykluszeit und die Kosten für die Waferbearbeitung erheblich. Das EPO 113 System wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige flache Oberflächen bereitzustellen, die exakte Anforderungen erfüllen.