Gebraucht EBARA EPO-222 #293759262 zu verkaufen

EBARA EPO-222 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eine hohe Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Es ist ein automatisiertes System, das sich gut für Einzel- oder Kleinserien von Waferanwendungen eignet, wie Schleifen und Hinterschleifen von Halbleiterwafern, Läppen von MEMS und Polieren für hochpräzise Anwendungen. EBARA EPO222 besteht aus einem Schleif-/Läpp-/Poliermechanismus und einer Steuereinheit. Der Schleif-/Läpp-/Poliermechanismus besteht aus einem mit einem abradablen Material abgedeckten Arbeitstisch, der auf den gewünschten Schleifstein, die Läppplatte oder das Poliertuch eingestellt werden kann. Ein Motor wird verwendet, um den Schleifstein, die Läppplatte oder das Poliertuch zu drehen, während der mechanische Arm, der den Wafer trägt, so eingestellt wird, dass das gewünschte Schleifen, Läppen oder Polieren bei verschiedenen Geschwindigkeiten und Drücken erreicht wird. Das Steuergerät ist für die Steuerung des Betriebs des Schleif-/Läpp-/Poliermechanismus sowie für die Verfolgung und Speicherung von Daten über den dabei verwendeten Schleifstein, Läppplatte oder Poliertuch zuständig. Der Schleif-/Läpp-/Polierprozess des EPA 222 wird über eine integrierte Sichtkontrolleinheit überwacht, die in der Lage ist, Unregelmäßigkeiten in der Oberfläche des Wafers zu erkennen, um eine hohe Qualität zu gewährleisten. Darüber hinaus weist das Schleifen/Läppen/Polieren von Wafern, die von der Maschine durchgeführt werden, aufgrund seiner aktiven Partikelpositionierungstechnik eine hohe Genauigkeit auf, wobei die Partikelgröße, die Dichte und die Position bezüglich des Werkstücks sofort eingestellt werden können. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einer Biohazards-Verriegelung und Not-Aus-Tasten, die gedrückt werden können, um das Element bei Bedarf sofort zu stoppen. EPO222 hat mehrere Vorteile gegenüber anderen Wafer-Schleif-, Läpp- und Poliersystemen, einschließlich seiner hohen Leistung, Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Sicherheit. Es ist auch in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu handhaben, und seine enge Prozesskontrolle sorgt dafür, dass jedes Mal einheitliche Ergebnisse erzielt werden. Darüber hinaus eignet sich das vielseitige Design von EPO-222 für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen, wie Schleifen, Läppen und Polieren einer Vielzahl von Materialien.