Gebraucht EBARA EPO-222 #293775100 zu verkaufen

EBARA EPO-222
ID: 293775100
CMP System.
EBARA EPO-222 ist eine präzise Oberflächenveredelungsmaschine zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern sowie von Bauteilen mit kleinen Abmessungen. Es eignet sich für Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen, die schnelle, genaue und wiederholbare Ergebnisse erfordern. Der Schleifkopf, Läppplatte und Polierplatte sind hochgenau und entworfen, um überlegene Leistung in Bezug auf die Oberflächengüte zu bieten. Die Y-Achse mit variabler Geschwindigkeit und die X-Achse ermöglichen es dem Benutzer, die Position des Schleifkopfes leicht einzustellen, um den gewünschten Oberflächeneffekt zu erzielen. Die Maschine verfügt über drei separate Polierstationen, die für unterschiedliche Materialien verwendet werden können. Die Polierkissen können mit Hilfe eines XY-Achsverstelltisches exakt positioniert werden. Die Schleifmittel werden in einem einzigartigen „U“ -förmigen Polierkopf montiert, um eine gleichbleibende Polierleistung zu gewährleisten. EBARA EPO222 ist mit einem vollautomatischen Roboterarm ausgestattet, der das Be-/Entladen von Wafern aus dem Bearbeitungsbereich sowie den automatischen Austausch von abrasiven Medien und Polierkissen erleichtert. Das Gerät ist außerdem mit einem Laserausrichtsystem und einer automatischen Filterreinigungsfunktion ausgestattet, die die Prozesswiederholbarkeit erhöht und den Medienverbrauch reduziert. Die Bedienung erfolgt über einen Controller mit intuitiver Touchscreen-Oberfläche und leicht verständlichen Bedienmenüs. Das Gerät verfügt auch über ein Datenprotokoll, das eine genaue Überwachung aller Prozessparameter über die Zeit ermöglicht, einschließlich Zeit- und Medienverbrauchsrate, Temperatur, Drehzahl und Schleif-/Polierergebnisse. Abschließend ist EPA 222 eine fortschrittliche und vielseitige Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine. Es bietet wiederholbare, genaue Ergebnisse mit hochpräziser Oberflächengüte und eignet sich für eine Vielzahl von Präzisionsanwendungen. Die intuitive Bedienoberfläche und die automatisierten Funktionen machen dieses Tool zu einer idealen Lösung für eine hohe Oberflächengüte mit minimalem Aufwand.
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