Gebraucht EBARA EPO-222 #293813196 zu verkaufen

ID: 293813196
Wafergröße: 6"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 6" Open cassette type load and unload on Left (L) and Right (R) sides Roll and roll unit cleaner on L and R sides Pencil unit cleaner on L and R sides with spin dry capability Polisher on L and R sides Normal head top ring on R side I Head top ring on L side Dresser on L and R sides Ceramic platen type turn table on L and R sides Pusher on L and R sides (2) Rorze robots Turnover on L and R sides.
EBARA EPO-222 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für die hochpräzise Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Das System verwendet eine Festbett-Montagebasis und eine linearmotorisch angetriebene Schleifscheibe. Die Schleifscheibe ist auf zwei verstellbaren Trägern gelagert, die durch manuelle Steuerung Winkel- und Höhenverstellungen ermöglichen. Mit der Scheibenschleifscheibe wird das Werkstück auf eine bestimmte Ebene geschliffen und auf die gewünschte Oberflächenrauhigkeit poliert. Es wird auch zum Läppen und Polieren verwendet, um eine hohe Finish-Qualität zu erreichen. Die Einheit ist außerdem mit einem Präzisions-Luftlager ausgestattet, das die Schleifscheibe bewegen kann, so dass die Ebene und die Oberseite des Wafers parallel gehalten werden können. Darüber hinaus ist EBARA EPO222 mit einer On-Board-CCD-Kamera ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Oberfläche des Werkstücks vom Bedienfeld aus zu beobachten. Es kann auch für Ausrichtung, Messung und andere Zwecke verwendet werden. Die Maschine kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Silizium, Saphir, Quarz und andere Halbleitermaterialien. Es verfügt auch über ein benutzerfreundliches Bedientool, das eine einfache Bedienung und Wartung ermöglicht. EPO 222 ist ein zuverlässiges und präzises Asset, das eine hochpräzise Bearbeitung von Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierkomponenten ermöglichen kann. Es ermöglicht die schnelle und genaue Herstellung von Komponenten, die exakte Spezifikationen erfüllen. Das Modell wurde entwickelt, um die Qualität und Produktivität jedes automatisierten Prozesses zu verbessern und eine effiziente und zuverlässige Lösung für eine Vielzahl von Branchen zu bieten.
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