Gebraucht EBARA EPO-2226D #293749187 zu verkaufen

ID: 293749187
CMP System.
EBARA EPO-2226D ist eine hochmoderne Scheibenschleif-, Läpp- und Poliermaschine. Sein einzigartiges Design ermöglicht das hochpräzise, einpassende Schleifen, Läppen und Polieren großer Wafer (bis 200 mm Durchmesser) mit nur einer einzigen Spindel. Da die Spindel den Wafer nie verlässt, sind keine aufwendigen, komplizierten und ungenauen mechanischen Übertragungen zwischen den einzelnen Prozessen erforderlich; Dies ermöglicht eine höhere Genauigkeit und eine signifikante Reduzierung der Zykluszeiten. EPO-2226D wird von einem Hochleistungsspindelmotor angetrieben, der Drehmomente bis zu 200Nm liefern kann. Seine Mehrfachgeschwindigkeitsregelung unterstützt alle Arten von Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierprozessen. Dies ermöglicht die Anwendung von Nieder-, Mittel- oder Hochgeschwindigkeitsschleifen, Läppen und Polieren, je nach den Anforderungen an das Verfahren, um möglichst hohe Ausbeuten zu erreichen. Die Maschine wird von einer Siemens SPS und einer 19 "HMI angetrieben, die kontinuierlich auf optimalen Betrieb und Sicherheit überwacht wird. Dies ermöglicht auch eine einfache Dateneingabe und -bedienung und schafft ein integriertes System für einfachere Wartung und Bedienung. Das hochpräzise Servosteuerungssystem EBARA EPO-2226D trägt zu äußerst genauen Ergebnissen und Wiederholbarkeit bei. Dies wird durch seinen AC-Servomotor erreicht, der schnell auf wechselnde Bedingungen reagieren kann. Es verwendet auch zwei harmonische Laufwerke, um die Zentrierung und den Gesamtdruck zu steuern, während eine Mehrfachscheibenerkennung ohne manuelle Kalibrierung möglich ist. EPO-2226D umfasst ein vollständiges Gehäuse mit Staubsammel- und Partikelüberwachungsfunktionen, wodurch die Ausrüstung für den Einsatz in rauen Umgebungen geeignet ist. Zur Verbesserung der Sicherheit und Hygiene wurden ein Druck- und Strömungssensor, der den Betrieb des Staubsammelsystems überwacht, sowie eine Vielzahl zusätzlicher Schutz- und Staubregelelemente in die Konstruktion integriert. Die Gesamtvorteile von EBARA EPO-2226D sind schnelle Zykluszeiten mit präzisen, ertragsstarken Ergebnissen in einer sicheren und sauberen Arbeitsumgebung. Die Maschine wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare Leistung zu bieten, die langfristige Produktivität und Stabilität ermöglicht.
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