Gebraucht EBARA EPO-2228D #293642832 zu verkaufen

EBARA EPO-2228D
ID: 293642832
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
CMP System, 8" 2004 vintage.
EBARA EPO-2228D ist eine Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchste Ebenheit, Oberflächengüte und Kantengenauigkeit in fortgeschrittenen Anwendungen zu erreichen. EPO-2228D ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu verarbeiten und bietet eine Vielzahl von Funktionen und Optionen, um eine Vielzahl von Benutzeranforderungen zu erfüllen. Das System umfasst zweiachsige motorisierte Wafer-Schreinerfutter für präzise Radausrichtung und wiederholbare Radmuster und zweiachsige motorisierte Polierspindel für schnelles und präzises Abrichten der Räder. Ein variabler Geschwindigkeitsantrieb und eine manuelle Radsteuerung ermöglichen eine präzise gesteuerte Radgeschwindigkeit und ein Rad mit variabler Höhe fasst bis zu zwei motorisierte oder manuelle Räder. Das Gerät enthält auch einen manuellen Radkopf zum Handpolieren kleiner und schwer zugänglicher Bereiche. Die Maschine ist einfach zu bedienen, mit einem benutzerfreundlichen Touchscreen-Controller und Onboard-Diagnose. Das automatisierte Förderwerkzeug sorgt für eine effiziente Materialbe- und -entladung und eine Niederdruckluftabluftanlage ermöglicht eine überlegene Luftfiltration und -steuerung. Das Modell verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen, darunter einen Barcode-Leser, eine Werkzeugkasten-Türverriegelung, automatisierte Interlock-Sequenzierung und Not-Aus-Tasten, um eine sichere Nutzung der Maschine zu gewährleisten. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit liefert und für eine breite Palette von Waferbearbeitungsanwendungen geeignet ist. Es ist in der Lage, hohe Oberflächengüte und Ebenheit sowie ausgezeichnete Kantengenauigkeit zu erreichen. Das System wurde entwickelt, um Zykluszeiten zu reduzieren und den Durchsatz durch hohe Schleifgeschwindigkeiten und schnelle Prozesskontrollzeiten zu maximieren. EBARA EPO-2228D Einheit kann mit einer Vielzahl von Optionen ausgestattet werden, darunter mehrere Schleifscheiben, eine Spraymatverarbeitungsmaschine, ein Wafer-Prozessmonitor und ein thermisches Steuerwerkzeug sowie eine Vielzahl von Vakuum- und Flüssigkeitszufuhrsystemen. Das Asset ist zudem sehr flexibel und kann für viele Kundenspezifikationen und -anforderungen konfiguriert werden. EPO-2228D ist die perfekte Lösung zum Waferschleifen, Läppen und Polieren. Es wurde entwickelt, um hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu liefern und bietet hervorragende Oberflächengüte, Ebenheit und Kantengenauigkeit für eine breite Palette von Halbleiter- und anderen Fertigungsanwendungen.
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