Gebraucht EBARA EPO-2228D #293642834 zu verkaufen

EBARA EPO-2228D
ID: 293642834
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
CMP System, 8" 2003 vintage.
EBARA EPO-2228D ist eine vielseitige Schleif-, Läpp- und Polieranlage für Halbleiter- und Optoelektronik-Anwendungen. Es ist in der Lage, diese Oberflächen mit hoher Genauigkeit und Präzision zu bearbeiten, ohne die Qualität des Materials oder der Oberfläche zu beeinträchtigen. Die Maschine besteht aus einem Schleif- und Polierkopf, der auf einer rotierenden Plattform montiert ist. Dieser Kopf ist mit dem Maschinenboden verbunden, der mit Präzisionszoom und Wafer-Steuerungsfunktionen ausgestattet ist. Das Bedienfeld ermöglicht die Steuerung der Drehzahl, Schleiftiefe und Läppzyklen. Dadurch kann der Anwender je nach bearbeitetem Material die idealen Parameter für jeden Prozess auswählen. Der Kopf der Maschine enthält auch eine Vielzahl von Werkzeugen, die verwendet werden können, um auf den Oberflächen von Halbleiter- und optischen Materialien zu arbeiten. Zu diesen Werkzeugen gehören Diamantschleifscheiben, Läppscheiben, Diamantpolierplatten und Bürsten. Jedes dieser Werkzeuge kann mit den für ein bestimmtes Material und eine bestimmte Anwendung erforderlichen spezifischen Parametern programmiert werden. Dadurch wird sichergestellt, dass jede der zu bearbeitenden Flächen mit dem höchstmöglichen Fertigungsgrad versehen wird. Die Maschine ist zudem mit einer automatisierten Reinigungsanlage ausgestattet, die Schmutz und Partikel während der Produktion von den Schleif- und Läppflächen entfernt. Diese Einheit kann auch mit einer Reihe von Parametern programmiert werden, die sicherstellen, dass etwaige Restpartikel aus dem Schleif- und Läppprozess das endgültige Finish nicht stören. Die Maschine wurde auch unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Spezielle Sicherheitsmerkmale wie Softstart, E-STOP und Warnblinker sind in der Maschine enthalten. Dies trägt dazu bei, dass der Benutzer während des Betriebs sicher gehalten wird. Insgesamt ist EPO-2228D ein fortschrittliches Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Halbleiter- und optischen Materialien mit hoher Genauigkeit zu bearbeiten. Das Werkzeugspektrum und die automatisierte Reinigung machen es zu einer zuverlässigen und vielseitigen Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen.
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