Gebraucht EBARA EPO-222A #293809677 zu verkaufen

EBARA EPO-222A ist eine Präzisions-Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für ultrahohe Genauigkeit, wiederholbares Polieren von Halbleiter- und optischen Komponenten entwickelt wurde. Das System bietet mehrere verschachtelte Kopfstücke, um einen hohen Durchsatz von Anfang bis Ende mit höchster Präzision für jeden Schritt zu ermöglichen. Die Haupteinheit von EBARA EPO 222A ist ein leistungsstarker Servomotor-angetriebener Kopf, der auf einem freitragenden Arm montiert ist, der Geschwindigkeiten von bis zu 3000 U/min ermöglicht. Der Kopf hat einen einstellbaren Angriffswinkel und eine einstellbare automatische Geschwindigkeitsregelung. Zwei weitere Kopfstücke, der vordere Läppkopf und der hintere Schleifkopf, sind rasch veränderbar und neu kalibrierbar ausgebildet. Der Läppkopf weist zwei unabhängige Motoren auf, die für eine gleichmäßige Polierwirkung sorgen; der Schleifkopf sorgt für ein aggressives Schleifprofil. Sowohl die Läpp- als auch die Schleifköpfe verfügen standardmäßig über Diamant-Schleifpolierer, mit Wolframkarbid-Polierern, die als optionales Zubehör erhältlich sind. EPO 222 A ist mit einer langlebigen Konstruktion und einer integrierten Vakuumeinheit ausgestattet, die eine effiziente und effektive Werkzeugreinigung ermöglicht. Die Maschine verfügt über ein Qualitätskontrollwerkzeug mit geschlossenem Regelkreis, das eine konsistente, wiederholbare Leistung und eine einstellbare Endpunktsteuerung ermöglicht. EPO 222A verfügt darüber hinaus über ein integriertes intelligentes Prozesssteuerungsmodul, das genaue Echtzeitdaten über den Fortschritt des Wafers und eine On-Board-Diagnose bereitstellt, die eine schnelle und genaue Fehlersuche ermöglicht. Eine vorprogrammierte Rezeptbibliothek und eine grafische Benutzeroberfläche sorgen für ein intuitives Erlebnis für den Bediener. Das Modell ist wartungsarm und einfach zu bedienen, mit einem Plug-and-Play-Design und minimalen Ausfallzeiten für die Einrichtung und Neukonfiguration. Die Geräte verfügen über analoge und digitale Schnittstellen für die Konnektivität und den Datenaustausch, die eine maximale Integration mit anderen Systemen ermöglichen und gleichzeitig die vollständige Rückverfolgbarkeit von Prozessanpassungen und die vollständige Betriebsüberwachung gewährleisten. EPO-222A eignet sich ideal für Einzel- und Mehrmaschinen-Anwendungen wie Produktionswaferbearbeitung, Herstellung von Dünnschichtbauelementen sowie Halbleiterverpackungen und optische Bauelemente. Es eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, wie SiC, SiO, GaAs und SOI. Mit seinem integrierten Systemdesign, effizienten Produktionsprozessfähigkeiten und zuverlässiger Leistung ist EBARA EPO 222 A eine ideale Wahl für Kunden auf dem Markt für eine zuverlässige und präzise Schleif-, Läpp- und Poliereinheit.