Gebraucht EBARA EPO-222A #9279381 zu verkaufen

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ID: 9279381
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CMP System, 8" 1999 vintage.
EBARA EPO-222A ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polieranlage, die sich gut für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben, kristallinen Quarzen, Keramiken und anderen Materialien bis 8 "Durchmesser eignet. Das System verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine Parametereinstellung und Prozesssteuerung ermöglicht. Die Maschine verwendet eine einzigartige programmierbare Wechselspindelantriebseinheit, die für präzise Drehzahl- und Drehmomentstabilität bei niedrigem oder hohem Drehzahlbetrieb ausgelegt ist. Die Spindel wird von einem Schwerlastwagen mit Duplexlagern und pneumatischen Lagern umhüllt, um eine zuverlässige Klemmung der Schleif- und Läppplatte zu gewährleisten. Durch die präzise Ausrichtung des Spindelkopfes kann der Spindelwinkel mit hoher Genauigkeit eingestellt oder eingehalten werden. EBARA EPO 222A bietet eine breite Palette von Schleif-, Läpp- und Polieroperationen, die mit der integrierten GUI leicht wählbar sind. Die Schleifoperationen umfassen Planschleifen, Halbleiterlappen und Mikroschleifen. Die Läppoperationen umfassen CMP-Läppen und doppelseitiges Läppen. Die Polierarbeiten umfassen Sputtern, Elektropolieren und chemisches Polieren. EPO 222 A ist mit einer vollständig integrierten Arbeitshaltelösung ausgestattet, die hilft, konsistente und hochpräzise Ergebnisse zu gewährleisten. Die fortschrittliche Scheibenfutter-Maschine verfügt über Vakuumklemmen und verstellbare Klingen, die leicht kalibriert werden können, um die besten Ergebnisse für jede Anwendung zu liefern. Zusätzlich nutzt das Futterwerkzeug die Rückkopplungssteuerung, um die Konsistenz beim Läppen und Polieren zu erhalten. Darüber hinaus ist die Maschine auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um maximale Sicherheit, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit zu gewährleisten. Diese Sicherheitsmerkmale umfassen eine vollautomatische Notstoppanlage, eine dreistufige Anzeigeleuchte für Werkstück und Sicherheitsstatus sowie einen Notstoppschalter. Zusätzlich wird ein dedizierter Remote-Operationsport installiert, mit dem der Operator alle Parameter- und Steuereinstellungen über die mitgelieferte GUI vornehmen kann. Für die Wartung vor Ort ist EPO-222A mit einem integrierten Wartungspaket bestehend aus Ersatzteilen, Filterelementen und einer Vielzahl von Werkzeugen ausgestattet. Techniker haben auch Zugang zu spezialisierten technischen Support-Services über Hotline oder E-Mail, und alle Anfragen und Beschwerden werden begrüßt und umgehend weiterverfolgt. EBARA EPO 222 A stellt ein zuverlässiges und fortschrittliches Schleif-, Läpp- und Poliermodell dar. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Operationen und zuverlässige Ergebnisse sowie maximale Sicherheit, Benutzerfreundlichkeit und Flexibilität zu bieten.
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