Gebraucht EBARA Frex 150 #293660146 zu verkaufen

EBARA Frex 150 Wafer Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung ist eine leistungsstarke, multifunktionale Lösung für die Erfüllung der anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiter- und MEMS-Gerätetechnologie. Speziell für das Schleifen, Läppen und Polieren der härtesten Art von Silizium-Wafern entwickelt, bietet Frex 150 eine hochwertige Oberfläche mit einer breiten Palette von Einstellungen von 400-2.000 U/min und einem maximalen Schleifdruck von 2.2x106 N/m2. Der EBARA Frex 150 ist mit einem eingebauten hydraulisch angetriebenen Schleifkopf, einem 150 mm durchmessenden Schottky-Wafer-Futter und einem großen Vakuumfutter ausgestattet. Das System ist mit einer Oberseitenschleif-, Läpp- und Polierplatte sowie einer unteren Grundplatte zur Verteilung von Schleifdruck und Unterstützung ausgestattet. Eine spezielle Sensor Gauge Control ermöglicht die Verwendung voreingestellter Parameter beim Aufsetzen des Wafers auf die Läppplatte zum präzisen und detaillierten Schleifen, Läppen und Polieren. Das Gerät ist auch mit einer großen Luftreinigungsmaschine ausgestattet, mit der luftgetragenes Material aus den Schleif- und Polierbereichen entfernt werden kann, um Verschmutzungen zu reduzieren und die Schleif-/Polierleistung zu optimieren. Darüber hinaus ermöglichen ein automatisiertes Rezirkulationswerkzeug und eine dreifache Filtrationsanlage eine einfache und saubere Filterung der zum Schleifen und Polieren verwendeten Flüssigkeiten. Frex 150 verfügt über ein Temperaturkontrollpanel zur Steuerung und Überwachung der Temperatur der im Schleif- und Polierprozess verwendeten Materialien. Ebenfalls in EBARA Frex 150 enthalten ist eine spezielle „Profil-Tracking“ -Software, mit der Benutzer ihre Schleif- und Polierparameter voreinstellen und speichern können. Diese Funktion ermöglicht es ihnen, wiederholbare Oberflächenprofile und eine konstante Materialabtragsrate zu erzielen. Die Software ermöglicht auch eine breite Palette von Oberflächenrauhigkeitserkennung und ermöglicht es Benutzern zu sehen, welche Änderungen während des Schleif- und Polierprozesses vorgenommen werden müssen. Schließlich eignet sich Frex 150 dank seiner robusten konstruktiven Konstruktion und der sorgfältig konzipierten Komponenten hervorragend für Anwendungen mit hoher Produktivität, die für geringe Geräuschpegel, geringe Partikelemissionen und hervorragende Ausbeute sorgen.