Gebraucht EBARA Frex 200 #293819847 zu verkaufen

ID: 293819847
Wafergröße: 8"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 8" (2) Chambers HF Supply.
EBARA Frex 200 ist eine vielseitige Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die für überlegene Waferbearbeitungsraten entwickelt wurde. Mit einer einzigartigen Kombination aus interaktiver Steuerung und modernster Technologie bietet EBARA FREX200 die perfekte Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und Flexibilität. FREX-200 ist in der Lage, eine Reihe von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm und einer Dicke von bis zu 50 mm zu schleifen und zu läuten.Dies ist ideal für die Herstellung von Wafern. Die Maschine verwendet einen Gleichstrommotor mit variabler Drehzahl, der eine maximale Drehmomentsteuerung bietet und Vorschubgeschwindigkeiten bis zu 200mm/min in beide Richtungen problemlos verarbeiten kann, auch wenn sie mit schweren Substraten oder Materialien konfrontiert sind. Neben dem Hochdrehmomentmotor ist Frex 200 mit einer fortschrittlichen dreiachsigen CNC-Steuerung ausgestattet, um eine hohe Genauigkeit für optimale Oberflächenkonsistenz zu gewährleisten. Das eingebaute Schleif- und Läppmodul bietet ein effizientes und effektives Verfahren zum Schleifen und Läppen der Oberflächenschicht sowie zum Glätten der oberen und unteren Oberflächen als Vorbereitung zum Polieren. Dieses Modul verwendet die neuesten Diamantschleifscheiben, Drahtlappplatten und Polierkissen mit bis zu 10 Köpfen und 8 Schleifgeschwindigkeiten, um einheitliche und glatte Oberflächen zu bieten. Zusätzlich ist ein Druckrückkopplungssensor in das Schleif- und Läppmodul integriert, um eine gleichmäßige Druckbeaufschlagung während des Prozesses zu gewährleisten. Das integrierte Poliersystem von FREX200 nutzt einen dreiachsigen Ansatz zum Polieren und Glossen von Wafern bis zu einer Größe von 200mm. Das Modul kommt mit einer Vielzahl von Polierpads und Kratzentfernungswerkzeugen, ideal für die Entfernung von Restverunreinigungen und die Gewährleistung der höchsten Genauigkeit in der Oberflächengüte. Die automatisierte Überwachungseinheit im Lieferumfang von EBARA FREX-200 bietet einen übersichtlichen und detaillierten Überblick über die Gesamtfunktion und Leistung der Maschine. Die Maschine überwacht alle Parameter und visualisiert die Ergebnisse in leicht lesbaren Diagrammen, die sowohl auf dem Gerät als auch aus der Ferne über eine Weboberfläche angezeigt werden. Diese Funktion bietet dem Benutzer ein Echtzeit-Feedback zu den aktuellen Schleif- und Poliervorgängen, was schnelle und fundierte Entscheidungen ermöglicht. Zusammenfassend ist EBARA F-REX200 ein hochmodernes Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeug mit fortschrittlichen Gleichstrommotoren, CNC-Steuerung und integriertem Schleif- und Läppmodul. Diese Premium-Maschine bietet dem Anwender eine hohe Genauigkeit und beeindruckende Schnittgeschwindigkeiten, was schnellere und genauere Ergebnisse bei der Herstellung von oberflächenreinen Wafern ermöglicht.
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