Gebraucht EBARA Frex 200 #9016976 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9016976
Weinlese: 2000
Tungsten CMP system
Includes:
Table motor current:
(2) Ceramic tables (heating and cooling capability)
(2) Buff stations
(2) Spare multi-holed top ring head assemblies, Ebara part no. AEPO22-BLR-0010
Main frame construction:
Split frame: cleaning unit and polishing unit
Stainless steel frame, base panels painted light gray, blue, and white
Latched panels and hinged door
Air: flow in transfer / cleaning unit, air-flow in polishing unit
Piping: DI water: PFA / Slurry: PFA and PTFE / Drain: PVC
Loading / Unloading unit: Flouroware, part no. A198-80MB-47C02
Transfer unit: (3) robots
Wafer stations: (2) dry, (2) wet
Polishing unit:
(2) Top-ring units
(2) Turn table units
(2) Dressing units
(1) Rotary transporter units
(1) Slurry feed pump
Rotary transporter unit:
(2) Turnover units
(2) Lifter units
(1) Rotary stage unit
(2) Pusher units
Cleaning units:
(4) Units in total, with in-line processing, process cup structure, and wafer transfer with robot between units
First stage cleaning includes:
Roll sponge scrub cleaning, and chemical spout rinsing for front side and back sides
Peripheral chucking by rollers, and manual damper Ventilation control with exhaust pressure indicator
Second stage cleaning for cleaning both sides of wafer and spin dry, includes:
Pencil sponge scrub cleaning, Megasonic jet cleaning, and chemical spout rinsing
Peripheral chucking by rollers, and manual damper ventilation control with exhaust pressure indicator
Power supply including breaker for each module
Main controller hardware including VME bus, Board computer, Main CPU: 68-series 32-bit O/S software using OS-9/C language description
Separate structure on each module
I/O connection with module, featuring serial communication
Operation unit with touch panel display
Safety measures to include:
Leakage sensors provided on the polishing head (top - ring head)
Drain pans which may have possibilities of fluid leakage
Emergency off buttons installed around the tool to cut power and stop CMP operation
Lift top ring and stop table
Door interlock that stops unit operation
Moving parts are covered with protection covers
Protection cover is provided for areas which may have potential larger than 24 V
208 VAC, 3 phase, 60 Hz
Full load: 80 A
Machine main breaker rating: 125 A
Ampere rating of largest load: 80 A
Interrupt current: 14,000 A
Size of largest motor: 3.7 kW
2000 vintage.
EBARA Frex 200 ist eine Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System verfügt über eine fortschrittliche Steuerungssoftware und ist auf einer leistungsstarken multifunktionalen Robotereinheit für eine effiziente und präzise Waferbearbeitung aufgebaut. Zur Maschine gehört auch ein vollautomatisiertes Wafer-Handling-Tool, das bis zu 200mm Wafer handhaben kann. EBARA FREX200 verfügt über eine integrierte Schleifstation, die für die Ausrichtung von zwei Magnetscheiben konfiguriert ist, um die perfekte Abflachung selbst der anspruchsvollsten Wafer während des Schleif- und Polierprozesses zu gewährleisten. Die Schleifstation ist mit Hochdruckkühlmittel ausgestattet, um schnelles und präzises Schleifen mit minimierten Vibrationen durchzuführen. Die Schleifstation ist auch mit fortschrittlichen optischen Messgeräten für präzise Messungen ausgestattet, die präzise Ergebnisse ermöglichen. Die Läppstation des Vermögenswerks soll der bereits polierten Waferoberfläche ein perfektes Finish verleihen. Dies geschieht mit Hilfe eines voll motorisierten und integrierten Läpparms mit hochpräzisen Drehantrieben für gesteuerten Waferkontakt. Die fortschrittliche Steuerungssoftware sorgt für eine präzise Verarbeitung und eine hochgenaue Oberflächenbearbeitung. Die Polierstation von FREX-200 nutzt multidirektionale Pad-Konfigurationen für effizientes Wafer-Polieren. Die Station passt automatisch die Pad-Druckeinstellungen an und verwendet eine automatisierte Luftdruckregelung für präzise Ergebnisse. Es enthält auch automatisierte chemische Abgabesysteme für bessere Ergebnisse. Die fortschrittliche Software und die fortschrittliche Robotersteuerung des Modells ermöglichen einen vollautomatischen Workflow, der es dem Bediener ermöglicht, den gesamten Prozess fernzuüberwachen und zu steuern. Darüber hinaus verfügt es auch über rückverfolgbares Rezeptmanagement, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Insgesamt ist EBARA FREX-200 ein hochentwickeltes Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Poliersystem, das höchste Erträge bei optimaler Qualität bietet. Seine fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen garantieren vorhersehbare Ergebnisse und sind damit die ideale Einheit für den Einsatz in der Halbleiterindustrie.
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